特許
J-GLOBAL ID：201803005796393588
ガスレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保坂 延寿
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-042455
公開番号（公開出願番号）：特開2018-113465
出願日： 2018年03月08日
公開日（公表日）： 2018年07月19日
要約：
【課題】ガスの消費量を低減することが可能なガス精製システム又はレーザ装置を提供する。【解決手段】ガスレーザ装置は、ハロゲンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と第1の制御バルブを介して接続され、且つ、第1のレーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と第2の制御バルブを介して接続されたレーザチャンバと、レーザチャンバのガス不純物を除去する精製カラムと、第3の制御バルブを介してレーザチャンバに接続され、精製カラムを通過したガスをレーザチャンバの運転ガス圧よりも高いガス圧に昇圧する昇圧ポンプと、昇圧ポンプから第3の制御バルブを介してレーザチャンバに供給されたガスの第1の量に基づいて、レーザチャンバに供給すべき第1のレーザガスの第2の量を計算し、第2の量の計算結果に基づいて、第1の制御バルブを制御する制御部と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ハロゲンガスを含む第1のレーザガスを供給する第1のレーザガス供給源と第1の制御バルブを介して接続され、且つ、前記第1のレーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第2のレーザガスを供給する第2のレーザガス供給源と第2の制御バルブを介して接続された、レーザチャンバと、
前記レーザチャンバから排出されたガスの少なくとも1部から、ハロゲンガス及びハロゲン化合物の少なくとも一部を除去する精製カラムと、
第3の制御バルブを介して前記レーザチャンバに接続され、前記精製カラムを通過したガスを前記レーザチャンバの運転ガス圧よりも高いガス圧に昇圧する昇圧ポンプと、
前記昇圧ポンプから前記第3の制御バルブを介して前記レーザチャンバに供給されたガスの第1の量に基づいて、前記レーザチャンバに供給すべき前記第1のレーザガスの第2の量を計算し、前記第2の量の計算結果に基づいて、前記第1の制御バルブを制御する制御部と、
を備えるガスレーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/036
, H01S 3/225
, H01S 3/00
H01S3/036
, H01S3/225
, H01S3/00 G
5F071AA06
, 5F071BB03
, 5F071EE04
, 5F071HH02
, 5F071HH06
, 5F071JJ05
, 5F071JJ08
, 5F172AD06
, 5F172EE22
, 5F172NN09
, 5F172NN22
, 5F172NN34
, 5F172NP01
, 5F172NP02
, 5F172NP14
, 5F172NP18
, 5F172NQ03
, 5F172NQ14
, 5F172NQ34
, 5F172ZA02
