EFEM

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西雅直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-023684
公開番号（公開出願番号）：特開2018-110246
出願日： 2018年02月14日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：

【課題】EFEM内の密閉性を高め、EFEMで使用するガスの供給量を削減するとともに、ウェーハの品質向上を図ることのできるロードポートを提供する。【解決手段】ウェーハ搬送室に隣接して設けられ、ウェーハ搬送室とFOUP(ウェーハ収納容器)との間でのウェーハWの出し入れを行うためのロードポート3であって、ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、ウェーハ搬送室内を開放するための開口を形成されたパネル31と、開口を開閉するための扉部61と、内部空間を開閉可能とする蓋部を扉部61に対向させるようにFOUPを載置してパネル31に向かって進退可能とする載置台34と、開口の周縁に沿ってパネル31の載置台34側に設けられたOリング44とを具備する。載置台34をパネル31に向かって移動させることで、FOUPにおける蓋部の周囲にOリング44が弾接する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ウェーハ搬送室に隣接して設けられ、当該ウェーハ搬送室とウェーハ収納容器との間でのウェーハの出し入れを行うためのロードポートであって、前記ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、当該ウェーハ搬送室内を開放するための開口を形成された板状部と、前記開口を開閉するための扉部と、内部空間を開閉可能とする蓋部を前記扉部に対向させるようにウェーハ収納容器を載置して前記板状部に向かって進退可能とする載置台とを具備し、前記板状部が、パネル本体と、このパネル本体に略矩形状に開放された前記ウェーハ収納容器に当接する窓枠部と、前記窓枠部に形成される前記開口は前記ウェーハ収納容器の前記蓋部の外周よりも大きく設けられ、前記ウェーハ収納容器と前記窓枠部との間に前記開口の周縁に沿って弾性材が設けられる前記パネル本体とは別体に構成されたウインドウユニットとを有するものであり、前記載置台を前記板状部に向かって移動させることで、前記ウェーハ収納容器における前記蓋部の周囲に前記弾性材が弾接するように構成したことを特徴とするロードポート。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (34件)：

5F131AA02 , 5F131CA12 , 5F131CA52 , 5F131CA62 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB99 , 5F131FA02 , 5F131FA12 , 5F131FA13 , 5F131FA19 , 5F131FA32 , 5F131FA33 , 5F131GA14 , 5F131GA83 , 5F131GA84 , 5F131GA88 , 5F131GA92 , 5F131JA07 , 5F131JA12 , 5F131JA15 , 5F131JA16 , 5F131JA20 , 5F131JA22 , 5F131JA23 , 5F131JA24 , 5F131JA25 , 5F131JA26 , 5F131JA28 , 5F131JA32 , 5F131JA33 , 5F131KA64

引用特許：

審査官引用 (5件)

ミニエンバイロメントポッドと装置との間の真空インタフェース
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-238309 出願人：アルカテル
基板搬送コンテナ、基板移載装置および基板移載方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-040243 出願人：ソニー株式会社
ガス循環システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-166096 出願人：株式会社東芝, 株式会社荏原製作所

全件表示

前のページに戻る