パージノズルユニット、ロードポート

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-075213
公開番号（公開出願番号）：特開2018-129530
出願日： 2018年04月10日
公開日（公表日）： 2018年08月16日
要約：

【課題】ボトムパージ方式が採用されるFOUP等のパージ対象容器の底面のポートに、上端部を密着させることが可能なパージノズルユニットを提供する。【解決手段】パージ対象容器の底面に設けたポートを通じて当該パージ対象容器内の気体雰囲気をパージ用気体に置換可能な半導体製造プロセス用のパージ装置であり、下方から上方へ向かうパージ用気体供給方向に沿って延伸するパージ用気体供給流路23を内部に形成したパージ用気体供給部2と、パージ用気体供給部を弾性支持する弾性支持部材33とを有する。弾性支持部材は、ポートの下向き面の傾斜に追従してパージ用気体供給部の姿勢を変更する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

底面に設けられたポートを通じて内部の気体雰囲気をパージ用気体に置換可能なパージ対象容器が載置される載置台と、前記載置台の複数箇所に前記底面の前記ポート位置に応じて設けられる注入用のパージノズルユニットとを備えた半導体製造プロセスに用いられるパージ装置であり、前記パージノズルユニットは、下方から上方に向かうパージ用気体供給方向に沿って延伸するパージ用気体流路を内部に形成したパージ用気体供給部と、前記パージ用気体供給部を弾性支持する弾性支持部材とを有し、前記パージ用気体供給部は、前記ポートに接触するポート接触部を備えるポート受け部を有し、前記ポート接触部は前記ポート受け部から上方に突出したリング状突起を有し、前記弾性支持部材が、前記ポートの下向き面の傾斜に追従して前記パージ用気体供給部の姿勢を変更することで、前記パージ用気体供給部の前記ポート接触部が前記ポートの下向き面に密着して、前記パージ用気体が前記ポートを通じて前記パージ対象容器に供給されることを特徴とするパージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , H01L 21/673

FI (2件)：

H01L21/68 A , H01L21/68 T

Fターム (19件)：

5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA12 , 5F131AA32 , 5F131AA33 , 5F131CA12 , 5F131CA32 , 5F131DC06 , 5F131GA13 , 5F131GA14 , 5F131GA22 , 5F131GA88 , 5F131GA92 , 5F131HA35 , 5F131HA37 , 5F131JA10 , 5F131JA12 , 5F131JA35 , 5F131KA22

前のページに戻る