特許

J-GLOBAL ID：201803006146398166

オゾン供給装置およびオゾン供給方法

発明者： 中川 雄介 ,  松浦 洋航 ,  和田 昇 ,  中村 保博
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 村上 啓吾 ,  大岩 増雄 ,  吉澤 憲治 ,  竹中 岑生
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016083678
公開番号（公開出願番号）：WO2017-130523
出願日： 2016年11月14日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：

オゾン発生器(2)と、吸着塔(3)と、待機部(7)と、減圧装置(8)と、オゾン供給部(9)と、低温冷媒循環器(5)と、生成したオゾン化ガスを冷却された吸着剤(4)に吸着させ、吸着剤(4)に吸着させたオゾン化ガスを脱着させて濃縮する制御部(10)とを備え、制御部(10)は、吸着塔(3)の吸着剤(4)から脱着させたオゾン化ガスを待機部(7)に待機させる待機状態のときの吸着塔(3)内の圧力を、吸着のときの吸着塔(3)内の圧力よりも低くする。

請求項（抜粋）：

オゾン化ガスを生成するオゾン発生器と、 生成した前記オゾン化ガスを内部の吸着剤に吸着させる吸着塔と、 前記吸着塔の前記吸着剤から脱着させた前記オゾン化ガスを待機させる待機部と、 前記吸着塔および前記待機部の圧力を低下させる減圧装置と、 前記脱着させたオゾン化ガスを供給対象に供給するオゾン供給部と、 前記吸着剤を冷却する低温冷媒循環器と、 前記オゾン発生器、前記吸着塔、前記待機部、および前記減圧装置を接続するガス流路のガス流を制御し、生成した前記オゾン化ガスを冷却された前記吸着剤に吸着させ、前記吸着剤に吸着させた前記オゾン化ガスを脱着させてオゾンを濃縮する制御部とを備え、 前記制御部は、前記脱着させたオゾン化ガスを前記待機部に待機させる待機状態のときの前記吸着塔内の圧力を、前記吸着のときの前記吸着塔内の圧力よりも低くするオゾン供給装置。

IPC (3件)：

C01B 13/10 ,  B01D 53/053 ,  B01F 1/00

FI (3件)：

C01B13/10 A ,  B01D53/053 ,  B01F1/00 A

Fターム (24件)：

4D012BA01 ,  4D012CB11 ,  4D012CD07 ,  4D012CE01 ,  4D012CE02 ,  4D012CF01 ,  4D012CF02 ,  4D012CF03 ,  4D012CF05 ,  4D012CF08 ,  4D012CF10 ,  4D012CG01 ,  4D012CH03 ,  4D012CJ05 ,  4D012CK05 ,  4G035AA01 ,  4G035AE13 ,  4G042CB15 ,  4G042CB17 ,  4G042CB19 ,  4G042CB21 ,  4G042CB26 ,  4G042CE01 ,  4G042CE04