蒸気量測定装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-054032
公開番号（公開出願番号）：特開2014-178286
特許番号：特許第6279220号
出願日： 2013年03月15日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】多孔質材料からなる、柱状の感湿部と、前記感湿部の長手方向における一方端を、測定対象の空間を規定する処理室の壁面に固定する固定部と、前記固定部を介して前記感湿部の前記一方端に水を供給する供給部と、前記感湿部の前記長手方向における他方端に設置された第1のセンサとを備え、前記第1のセンサは、前記感湿部を構成する多孔質材料の内部に設置されており、前記感湿部の内部において、前記供給部により供給された水は前記一方端から前記他方端まで流通する、蒸気量測定装置。

IPC (2件)：