特許
J-GLOBAL ID:201803006199629801
積層体
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-193145
公開番号(公開出願番号):特開2018-052041
出願日: 2016年09月30日
公開日(公表日): 2018年04月05日
要約:
【課題】水蒸気に対する高いガスバリア性と高い膜質安定性を有し、同時にフレキシブル性を有する積層体の提供。【解決手段】基材1の少なくとも片側に、SiとOとNとを含有する層[A]2を有する積層体であって、層[A]2の厚み方向において20nm以上有し、層[A]2の基材側に無機層[B]3を有することで、層[A]2の元素比O/Nが、0<O/N<0.170の範囲を満たす領域に存在するSi-N結合やSi-H結合を、基材1側から保護することができ、層[A]2の膜質安定性が向上する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材の少なくとも片側に、SiとOとNとを含有する層[A]を有する積層体であって、前記層[A]の元素比O/Nが、0<O/N<0.170の範囲を満たす領域を厚み方向において20nm以上有する、積層体。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (30件):
4F100AA01C
, 4F100AA12B
, 4F100AA20B
, 4F100AB10C
, 4F100AB11C
, 4F100AB12C
, 4F100AB18C
, 4F100AB19C
, 4F100AB20C
, 4F100AB21C
, 4F100AB24C
, 4F100AK25
, 4F100AK42A
, 4F100AK79B
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100EH46
, 4F100EH66
, 4F100EJ54
, 4F100EJ86
, 4F100GB23
, 4F100GB41
, 4F100GB66
, 4F100JD02
, 4F100JD04
, 4F100YY00B
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