特許
J-GLOBAL ID：201803006204088229
プラズマ輸送方法およびプラズマ輸送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-162608
公開番号（公開出願番号）：特開2018-032488
出願日： 2016年08月23日
公開日（公表日）： 2018年03月01日
要約：
【課題】本発明においては、プラズマ生成部において生成されたプラズマを極めて高速に対象物まで輸送可能なプラズマ輸送方法およびプラズマ輸送装置を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマ生成手段2において生成される大気圧プラズマPを対象物Wの表面へ輸送するプラズマ輸送方法およびプラズマ輸送装置1であって、前記プラズマ生成手段2に対して、加圧ガスGを瞬間的に導入して前記加圧ガスGの一部をプラズマ化させるとともに前記加圧ガスGの圧力によって前記対象物Wの表面へ高速に前記大気圧プラズマPを輸送することを特徴とするプラズマ輸送方法およびプラズマ輸送装置1。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プラズマ生成手段において生成される大気圧プラズマを対象物の表面へ輸送するプラズマ輸送方法であって、
前記プラズマ生成手段から輸送される前記大気圧プラズマの流量を瞬間的に増大させて前記対象物の表面へ高速に前記大気圧プラズマを輸送することを特徴とするプラズマ輸送方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (29件)：
2G084AA25
, 2G084BB11
, 2G084BB12
, 2G084BB21
, 2G084BB36
, 2G084BB37
, 2G084CC04
, 2G084CC19
, 2G084CC20
, 2G084CC23
, 2G084CC25
, 2G084CC34
, 2G084DD01
, 2G084DD14
, 2G084DD22
, 2G084FF02
, 2G084FF13
, 2G084FF14
, 2G084FF16
, 2G084FF18
, 2G084FF39
, 2G084FF40
, 2G084GG07
, 2G084GG08
, 2G084GG18
, 2G084GG22
, 2G084HH09
, 2G084HH35
, 2G084HH36
