特許
J-GLOBAL ID：201803006271553866

光モジュールへの力の影響を調整しうる光学装置

発明者：
ステファン シャフ

ステファン シャフ について

, 
マルクス ケルン

マルクス ケルン について


出願人/特許権者：
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 杉村 憲司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-040515
公開番号（公開出願番号）：特開2018-120234
出願日： 2018年03月07日
公開日（公表日）： 2018年08月02日
要約：
【課題】収差が少ない光学装置、光学撮像装置、操作装置の提供、且つ光モジュールを支持構造体に連結するとともに高い撮像品質を達成する。【解決手段】光モジュールと連結装置とを具える光学装置に関し、連結装置は光モジュールの支持区分を支持構造体に連結する複数の連結ユニットを有する。少なくとも1つの連結ユニットのこの同調支持力は、前記少なくとも1つの弾性素子により残りの連結ユニットの支持力に同調させ、光モジュールが支持された状態で支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、支持区分の点の変形により誘起された最大の位置的なずれが1μmよりも小さくする。これに加え又はこれに代え、光モジュールが支持された状態で支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、支持区分の点の最大の角度的なずれが10mradよりも小さくなるようにする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光モジュールと、 連結装置と を具える、特にマイクロリソグラフィ用とした光学装置であって、 前記連結装置が、前記光モジュールの支持区分を支持構造体に連結するための複数の連 結ユニットを有しており、 各連結ユニットは、前記光モジュールを支持する目的で、前記支持構造体の予め規定し うる位置で支持力を前記支持区分に与えるように設計されており、 前記支持区分は、前記支持構造体により支持された状態で、予め規定しうる所望の幾何 学的形状を有するようにした、 光学装置において、 少なくとも1つの連結ユニットが少なくとも1つの弾性素子を有しており、 この少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で同調支持 力を発生し、 この少なくとも1つの連結ユニットのこの同調支持力は、前記少なくとも1つの弾性素 子により前記連結装置の、この少なくとも1つの連結ユニット以外の残りの連結ユニット の支持力に同調され、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1 つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の変 形により誘起された最大の位置的なずれが1μmよりも小さく、好ましくは100nmより も小さく、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにすることと、前記光モジュール が支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所 望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の最大の角度的なずれが10mradよりも小さ く、好ましくは5mradよりも小さく、更に好ましくは2mradよりも小さくなるようにする こととの双方又は何れか一方が達成されるようにしたことを特徴とする光学装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ,  G02B 7/02 ,  G02B 7/00
FI (3件)：
G03F7/20 521 ,  G02B7/02 Z ,  G02B7/00 Z
Fターム (20件)：
2H044AJ01 ,  2H044AJ07 ,  2H197AA05 ,  2H197BA02 ,  2H197BA09 ,  2H197BA16 ,  2H197CA06 ,  2H197CA10 ,  2H197CC02 ,  2H197CC03 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197DA02 ,  2H197DB09 ,  2H197DB10 ,  2H197DC05 ,  2H197FB04 ,  2H197GA01 ,  2H197HA03 ,  2H197JA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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