特許
J-GLOBAL ID：201803006408883028

流量コントローラのインシトゥ較正の方法

発明者：
モハメド, バラレイブ エヌ.

モハメド, バラレイブ エヌ. について

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レイン, ジョン ダブリュ.

レイン, ジョン ダブリュ. について

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グレーゴール, マリウス ジェイ.

グレーゴール, マリウス ジェイ. について

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ヒーリー, ダン ジョセフ

ヒーリー, ダン ジョセフ について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533370
特許番号：特許第6268091号
出願日： 2012年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プロセスチャンバに結合された流量コントローラのインシトゥ較正の方法であって、 第1のガスと異なる標準ガスを使用することによって決定された、計算された第1の関係に基づいて設定点の第1の値に設定されるときに、流量の第1の値で前記第1のガスを供給するように構成された流量コントローラを供給することと、 前記第1のガスに対する前記流量と前記設定点との間の実際の第1の関係を、前記流量コントローラの前記設定点の対応する複数の値で決定された前記第1のガスの前記流量の複数の値から決定することであり、前記流量の前記複数の値の各々が、前記設定点に対する前記複数の値の対応する値で前記第1のガスを前記流量コントローラを通して流すことから決定される、実際の第1の関係を決定することと、 前記実際の第1の関係に基づいて前記流量コントローラから前記流量の前記第1の値で前記第1のガスを流すことと、を含み、 前記第1のガスの前記流量に対する前記複数の値が、前記流量コントローラと前記プロセスチャンバの間に配置された較正デバイスにより決定される、方法。
IPC (1件)：
G05D 7/06 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G05D 7/06 Z
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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