特許

J-GLOBAL ID：201803006416997873

金属用研磨液及び研磨方法

発明者： 市毛 康裕 ,  大内 真弓 ,  芳賀 浩二 ,  近藤 誠一
出願人/特許権者： 日立化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-128843
公開番号（公開出願番号）：特開2018-002797
出願日： 2016年06月29日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】基板表面にコバルト含有膜を有する基盤を腐食抑制しつつ研磨可能な金属用研磨液、及び、当該金属用研磨液を用いた研磨方法を提供することを目的とする。【解決手段】(A)アミノ酸と、(B)ベンゾトリアゾール骨格を有する防食剤と、(C)有機酸と、を含有し、pHが4.5〜9.0であり、基板表面のコバルト含有膜を研磨するための金属用研磨液及びこれを用いた研磨方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板表面のコバルト含有膜を研磨するための金属用研磨液であって、 (A)アミノ酸と、 (B)ベンゾトリアゾール骨格を有する防食剤と、 (C)有機酸と、 を含有し、 pHが4.5〜9.0である金属用研磨液。

IPC (4件)：

C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  C09G 1/02

FI (6件)：

C09K3/14 550Z ,  H01L21/304 622C ,  H01L21/304 622D ,  H01L21/304 622X ,  B24B37/00 H ,  C09G1/02

Fターム (28件)：

3C158AA07 ,  3C158CA04 ,  3C158CB01 ,  3C158CB10 ,  3C158DA02 ,  3C158DA12 ,  3C158ED10 ,  3C158ED12 ,  3C158ED22 ,  3C158ED26 ,  5F057AA08 ,  5F057AA28 ,  5F057BA22 ,  5F057BB14 ,  5F057BB22 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057DA38 ,  5F057EA03 ,  5F057EA17 ,  5F057EA22 ,  5F057EA23 ,  5F057EA24 ,  5F057EA25 ,  5F057EA31 ,  5F057EB03 ,  5F057EB04 ,  5F057EB07