特許

J-GLOBAL ID：201803006477452713

ビーム品質判定装置、ビーム品質判定方法、及びレーザ加工装置

発明者： 岡田 康弘 ,  萬 雅史
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-222051
公開番号（公開出願番号）：特開2018-081976
出願日： 2016年11月15日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
要約：

【課題】従来とは異なる観点でレーザビームの品質を判定するビーム品質判定装置を提供する。【解決手段】レーザビームの経路に配置された検出器が、レーザビームの基本横モードの成分と高次横モードの成分との比に依存する物理量を検出する。判定部が、検出器で検出された物理量に基づいてレーザビームの品質を判定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザビームの経路に配置され、前記レーザビームの基本横モードの成分と高次横モードの成分との比に依存する物理量を検出する検出器と、 前記検出器で検出された前記物理量に基づいて、前記レーザビームの品質を判定する判定部と を有するビーム品質判定装置。

IPC (2件)：

H01S 3/00 ,  B23K 26/00

FI (3件)：

H01S3/00 G ,  B23K26/00 M ,  H01S3/00 B

Fターム (14件)：

4E168AD11 ,  4E168CA02 ,  4E168CA11 ,  4E168DA23 ,  4E168DA43 ,  4E168DA44 ,  4E168EA03 ,  5F172AD05 ,  5F172NP02 ,  5F172NP12 ,  5F172NP16 ,  5F172NP18 ,  5F172ZA04 ,  5F172ZZ01