検査装置及び検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：正林真之 , 芝哲央 , 林一好
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-243441
公開番号（公開出願番号）：特開2018-096908
出願日： 2016年12月15日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
要約：

【課題】疑似欠陥の検出数をより少なくできる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置5は、検査対象物の画像である検査画像と基準画像との差分を抽出し、差分画像を作成する差分画像作成部12と、前記差分画像に基づいて、前記検査対象物の欠陥の有無を判定する一次欠陥判定部13と、一次欠陥判定部13で欠陥有りと判定された前記検査対象物に含まれる欠陥候補の周辺領域及び前記基準画像において前記欠陥候補の周辺領域と対応する部分領域を特定する領域特定部14と、前記欠陥候補の周辺領域の画像特徴量及び前記基準画像の対応する部分領域の画像特徴量を算出する画像特徴量算出部15と、画像特徴量算出部15で算出された2つの画像特徴量に基づいて、一次欠陥判定部13で欠陥有りと判定された前記検査対象物の前記欠陥候補が欠陥であるか否かを判定する二次欠陥判定部16と、を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

検査対象物の画像である検査画像と基準画像との差分を抽出し、差分画像を作成する差分画像作成部と、前記差分画像に基づいて、前記検査対象物の欠陥の有無を判定する一次欠陥判定部と、前記一次欠陥判定部で欠陥有りと判定された前記検査対象物に含まれる欠陥候補の周辺領域及び前記基準画像において前記欠陥候補の周辺領域と対応する部分領域を特定する領域特定部と、前記欠陥候補の周辺領域の画像特徴量及び前記基準画像の対応する部分領域の画像特徴量を算出する画像特徴量算出部と、前記画像特徴量算出部で算出された2つの画像特徴量に基づいて、前記一次欠陥判定部で欠陥有りと判定された前記検査対象物の前記欠陥候補が欠陥であるか否かを判定する二次欠陥判定部と、を備える検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , G01B 11/30 , H05K 3/00 , G06T 1/00

FI (4件)：

G01N21/956 Z , G01B11/30 A , H05K3/00 Q , G06T1/00 305A

Fターム (49件)：

2F065AA03 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065BB02 , 2F065CC18 , 2F065CC25 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065GG07 , 2F065GG17 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ05 , 2F065QQ13 , 2F065QQ31 , 2F065QQ38 , 2F065RR08 , 2G051AA65 , 2G051AB07 , 2G051AB11 , 2G051AC15 , 2G051AC21 , 2G051BA02 , 2G051BB03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051ED04 , 2G051ED21 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CE12 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC30 , 5B057DC33

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