SiOx濾過ユニット及びSiOx濾過ユニットを作動させる方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：竹沢荘一 , 竹ノ内勝 , 横堀芳徳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-517715
公開番号（公開出願番号）：特表2018-531868
出願日： 2016年10月10日
公開日（公表日）： 2018年11月01日
要約：

本発明は、チョクラルスキープーラー(3)と、SiOxダストフィルターシステム(5)と、及び前記SiOxダストフィルターシステム(5)に接続された真空ポンプ(9)とを含んでなるSi単結晶インゴットの生長用のチョクラルスキープーラー装置に係り、前記SiOxダストフィルターシステム(5)は、キャニスター(41)(フィルター交換の間、キャニスター(41)における圧力を大気圧に増大させることを可能にするキャニスターバルブを含んでなる)に収容された交換可能なフィルター(17)を保有する第1のSiOxフィルターユニット(15)、フィルター交換の間、第1のSiOxフィルターユニット(15)を分離するための第1の上流バルブ(19)及び第1の下流バルブ(21)を有する少なくとも第1の濾過ブランチ(13)と、キャニスター(43)(フィルター交換の間、キャニスター(43)における圧力を大気圧に増大させることを可能にするキャニスターバルブを含んでなる)に収容された交換可能なフィルター(27)を保有する第2のSiOxフィルターユニット(25)、フィルター交換の間、第2のSiOxフィルターユニット(25)を分離するための第2の上流バルブ(29)及び第2の下流バルブ(31)を有する少なくとも第2の濾過ブランチ(23)とを含んでなり、第1の濾過ブランチ(13)及び第2の濾過ブランチ(23)は、並列に配置され、及び第1の上流バルブ(19)及び第2の上流バルブ(23)の上流の共通の第1接続位置(33)及び第1の下流バルブ(21)及び第2の下流バルブ(31)の下流の共通の第2接続位置(35)に接続されており、ここで、第1の濾過ブランチ(13)及び第2の濾過ブランチ(23)は、前記第1の濾過ブランチ(13)と第2の濾過ブランチ(23)との間の圧力平衡のためのニードルバルブ(39)を有するバイパスブランチ(37)を介して接続されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チョクラルスキープーラー(3)と、SiOxダストフィルターシステム(5)と、前記SiOxダストフィルターシステム(5)に接続された真空ポンプ(9)とを含んでなるSi単結晶インゴットの生長用のチョクラルスキープーラー装置であって、前記SiOxダストフィルターシステム(5)は、 -キャニスター(41)(フィルター交換の間、キャニスター(41)における圧力を大気圧に増大させることを可能にするキャニスターバルブを含んでなる)に収容された交換可能なフィルター(17)を保有する第1のSiOxフィルターユニット(15)と、フィルター交換の間、第1のSiOxフィルターユニット(15)を分離するための第1の上流バルブ(19)及び第1の下流バルブ(21)を有する少なくとも第1の濾過ブランチと、 -キャニスター(43)(フィルター交換の間、キャニスター(43)における圧力を大気圧に増大させることを可能にするキャニスターバルブ(47)を含んでなる)に収容された交換可能なフィルター(27)を保有する第2のSiOxフィルターユニット(25)と、フィルター交換の間、第2のSiOxフィルターユニット(25)を分離するための第2の上流バルブ(29)及び第2の下流バルブ(31)を有する少なくとも第2の濾過ブランチ(23)とを含んでなり、第1の濾過ブランチ(13)及び第2の濾過ブランチ(23)は、並列に配置され、及び第1の上流バルブ(19)及び第2の上流バルブ(23)の上流の共通の第1接続位置(33)及び第1の下流バルブ(21)及び第2の下流バルブ(31)の下流の共通の第2接続位置(35)に接続されており、ここで、第1の濾過ブランチ(13)及び第2の濾過ブランチ(23)は、前記第1の濾過ブランチ(13)と第2の濾過ブランチ(23)との間の圧力平衡のためのニードルバルブ(39)を有するバイパスブランチ(37)を介して接続されていることを特徴とするチョクラルスキープーラー装置。

IPC (3件)：

C30B 29/06 , B01D 46/00 , C30B 15/00

FI (3件)：

C30B29/06 502Z , B01D46/00 F , C30B15/00 Z

Fターム (18件)：

4D058JA01 , 4D058KB02 , 4D058KC81 , 4D058QA01 , 4D058QA03 , 4D058QA11 , 4D058QA13 , 4D058QA19 , 4D058QA21 , 4D058QA23 , 4D058SA20 , 4D058UA25 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG21 , 4G077EG28 , 4G077EG30

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