金属酸化物の同定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：及川周 , 荒則彦 , 勝俣智夫
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2017004592
公開番号（公開出願番号）：WO2017-154450
出願日： 2017年02月08日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：

この金属酸化物の同定方法は、前記基準試料分析工程の分析結果と前記測定試料分析工程の分析結果を比較する同定工程と、を有し、前記同定工程における基準試料に対する測定試料の同定を、(A)基準試料のバンドギャップと測定試料のバンドギャップの一致度に対して、(B)基準試料の電子トラップの総密度と測定試料の電子トラップの総密度の一致度と(C)基準試料の密度電子トラップ密度のエネルギー分布と測定試料の密度電子トラップ密度のエネルギー分布の一致度の一方または両方を乗して得た一致係数により行う。

請求項（抜粋）：

金属酸化物を有する基準試料のバンドギャップと、前記基準試料の電子トラップの総密度と電子トラップ密度のエネルギー分布の一方または両方と、を測定する基準試料分析工程と、金属酸化物を有する測定試料のバンドギャップと、前記測定試料の電子トラップの総密度と電子トラップ密度のエネルギー分布の一方または両方と、を測定する測定試料分析工程と、前記基準試料分析工程の分析結果と前記測定試料分析工程の分析結果を比較する同定工程と、を有し、前記同定工程における基準試料に対する測定試料の同定を、(A)基準試料のバンドギャップと測定試料のバンドギャップの一致度に、(B)基準試料の電子トラップの総密度と測定試料の電子トラップの総密度の一致度と(C)基準試料の電子トラップ密度のエネルギー分布と測定試料の電子トラップ密度のエネルギー分布の一致度の一方または両方を乗して得た一致係数により行う金属酸化物の同定方法。

IPC (4件)：

G01N 29/24 , G01N 29/04 , G01N 29/30 , G01N 21/00

FI (4件)：

G01N29/24 , G01N29/04 , G01N29/30 , G01N21/00 A

Fターム (22件)：

2G047AA08 , 2G047BC03 , 2G047CA04 , 2G047CA07 , 2G047EA10 , 2G047GD02 , 2G047GG33 , 2G059AA03 , 2G059AA05 , 2G059BB09 , 2G059CC20 , 2G059DD20 , 2G059EE16 , 2G059FF08 , 2G059GG07 , 2G059GG09 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ05 , 2G059JJ24 , 2G059KK08

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