特許

J-GLOBAL ID：201803007228486744

太陽電池の製造方法、太陽電池および太陽電池製造装置

発明者： 土井 誠
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高村 順
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016053271
公開番号（公開出願番号）：WO2017-134782
出願日： 2016年02月03日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：

太陽電池の特性を低下させることなく、低コストの電極形成を実現することを目的とし、半導体基板上にpn接合を形成し太陽電池用基板1Sを形成する工程と、電極材料である導電性材料を含むペースト4Pを太陽電池用基板1Sの電極形成面に塗布する塗布工程と、塗布されたペースト4Pを焼成する焼成工程とを含む電極形成工程とを備える。塗布工程は、ペースト4Pを吐出する吐出ノズル103を備えた液体塗布装置を使用して、吐出ノズル103からの時間当たりの吐出量を制御しながらペースト4Pを電極形成面に塗布する工程を含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体基板上にpn接合を形成し太陽電池用基板を形成する工程と、 電極材料である導電性材料を含むペーストを前記太陽電池用基板の電極形成面に塗布する塗布工程と、前記塗布されたペーストを焼成する焼成工程とを含む電極形成工程とを備えた太陽電池の製造方法であって、 前記塗布工程は、前記ペーストを吐出する吐出ノズルを備えた液体塗布装置を使用して、前記吐出ノズルからの時間当たりの吐出量で塗布量を制御しながら前記ペーストを前記電極形成面に塗布する工程を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 31/022 ,  H01L 21/288

FI (2件)：

H01L31/04 262 ,  H01L21/288 Z

Fターム (23件)：

4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  4M104EE17 ,  4M104GG04 ,  5F151AA02 ,  5F151CB20 ,  5F151DA03 ,  5F151FA10 ,  5F151FA14 ,  5F151FA15 ,  5F151GA04 ,  5F151GA15 ,  5F151HA03 ,  5F151JA03 ,  5F151JA04 ,  5F151JA05 ,  5F151JA06