特許
J-GLOBAL ID:201803007356107012
固体レーザシステムおよびエキシマレーザシステム
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
特許業務法人つばさ国際特許事務所
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2015079151
公開番号(公開出願番号):WO2017-064789
出願日: 2015年10月15日
公開日(公表日): 2017年04月20日
要約:
本開示における固体レーザシステムは、第1の波長の第1のパルスレーザ光と、第2の波長の第2のパルスレーザ光とを出射する固体レーザ装置と、第1のパルスレーザ光が入射し、第1の波長の第3のパルスレーザ光を出射する第1の固体増幅器と、第3のパルスレーザ光が入射し、第3の波長の高調波光を出射する波長変換部と、第2のパルスレーザ光が入射し、第2の波長の第4のパルスレーザ光を出射する第2の固体増幅器と、第4のパルスレーザ光が入射し、第4の波長のストークス光を出射するラマンレーザ装置と、高調波光とストークス光が入射し、第3の波長および第4の波長から波長変換された第5の波長の第5のパルスレーザ光を出射する波長変換システムとを備えてもよい。
請求項(抜粋):
第1の波長の第1のパルスレーザ光と、第2の波長の第2のパルスレーザ光とを出射する固体レーザ装置と、
前記第1のパルスレーザ光が入射し、前記第1の波長の第3のパルスレーザ光を出射する第1の固体増幅器と、
前記第3のパルスレーザ光が入射し、第3の波長の高調波光を出射する波長変換部と、
前記第2のパルスレーザ光が入射し、前記第2の波長の第4のパルスレーザ光を出射する第2の固体増幅器と、
前記第4のパルスレーザ光が入射し、第4の波長のストークス光を出射するラマンレーザ装置と、
前記高調波光と前記ストークス光が入射し、前記第3の波長および前記第4の波長から波長変換された第5の波長の第5のパルスレーザ光を出射する波長変換システムと
を備える固体レーザシステム。
IPC (5件):
G02F 1/37
, G02F 1/35
, H01S 3/067
, H01S 3/30
, H01S 3/23
FI (5件):
G02F1/37
, G02F1/35 502
, H01S3/067
, H01S3/30
, H01S3/23
Fターム (34件):
2K102AA07
, 2K102AA08
, 2K102AA15
, 2K102AA32
, 2K102BA18
, 2K102BB02
, 2K102BC02
, 2K102BD10
, 2K102CA00
, 2K102DA01
, 2K102DB01
, 2K102DD10
, 2K102EA17
, 2K102EA18
, 2K102EB02
, 2K102EB06
, 2K102EB10
, 2K102EB12
, 2K102EB20
, 5F172AD06
, 5F172AE01
, 5F172AE03
, 5F172AE08
, 5F172AF03
, 5F172AF06
, 5F172AG03
, 5F172AM04
, 5F172AM08
, 5F172DD06
, 5F172NR13
, 5F172NR14
, 5F172NR22
, 5F172NR23
, 5F172NR24
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