特許

J-GLOBAL ID：201803007553797683

力学量測定装置

発明者： 芦田 喜章 ,  相馬 敦郎
出願人/特許権者： 日立オートモティブシステムズ株式会社
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016072253
公開番号（公開出願番号）：WO2017-056673
出願日： 2016年07月29日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：

本発明の目的は、ひずみセンサモジュールの電気配線用部材などに用いられる樹脂部材の吸湿に起因したセンサ出力変動を抑制し、ひずみ計測精度に優れたひずみセンサモジュール構造を提供することにある。力学量測定装置は、半導体基板の表面に複数のピエゾ抵抗素子および電極パッドが形成されたひずみセンサと、前記複数の電極パッドと電気的に接続される複数の配線を備える電気配線用樹脂部材と、前記ひずみセンサの裏面と接合される起歪体と、前記電気配線用樹脂部材と前記起歪体とを貼り合わせる接着部と、を有し、前記電気配線用樹脂部材のひずみセンサ近傍領域に、溝が設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面に複数のピエゾ抵抗素子および複数の電極パッドが形成されたひずみセンサと、 前記複数の電極パッドと電気的に接続される複数の配線を備える電気配線用樹脂部材と、 前記ひずみセンサの裏面と接合される起歪体と、 前記電気配線用樹脂部材と前記起歪体とを貼り合わせる接着部とを有し、 前記電気配線用樹脂部材のひずみセンサ近傍領域に、溝が設けられていることを特徴とする力学量測定装置。

IPC (3件)：

G01L 1/18 ,  G01L 1/00 ,  G01L 9/00

FI (3件)：

G01L1/18 A ,  G01L1/00 D ,  G01L9/00 303C

Fターム (9件)：

2F055AA39 ,  2F055BB19 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD09 ,  2F055EE14 ,  2F055FF01 ,  2F055GG01 ,  2F055GG25