特許

J-GLOBAL ID：201803007603791819

阻止電位型エネルギー分析器

発明者： 室 隆桂之 ,  松下 智裕
出願人/特許権者： 公益財団法人高輝度光科学研究センター
代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016051742
公開番号（公開出願番号）：WO2017-126089
出願日： 2016年01月21日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
要約：

前段グリッド電極(21)、基準グリッド電極(22)、及び後段グリッド電極(23)を順に並べて配置し、基準グリッド電極(22)と前段グリッド電極(21)との間に所定の大きさの電位差を与えて上りの電位勾配を形成するとともに、基準グリッド電極(22)と後段グリッド電極(23)との間に電位差を与えて下りの電位勾配を形成する阻止電位型エネルギー分析器において、基準グリッド電極(22)と前段グリッド電極(21)の間の距離よりも基準グリッド電極(22)と後段グリッド電極(23)の間の距離が短くなるようにグリッド電極を配置する。あるいは、基準グリッド電極(22)と前段グリッド電極(21)の間の電位差よりも基準グリッド電極(22)と後段グリッド電極(23)の間の電位差を大きくする。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源から発せられる荷電粒子のエネルギーを、荷電粒子検出器を用いて測定する阻止電位型エネルギー分析器であって、 a) 前記荷電粒子源と前記荷電粒子検出器の間に、前段グリッド電極、基準グリッド電極、後段グリッド電極の順に並べて配置され、前記基準グリッド電極と前記前段グリッド電極の間の距離よりも、前記基準グリッド電極と前記後段グリッド電極の間の距離が短くなるように配置された3枚のグリッド電極と、 b) 前記基準グリッド電極と前記前段グリッド電極との間に所定の大きさの上りの電位差を与えるとともに、前記基準グリッド電極と前記後段グリッド電極との間に前記上りの電位差以上の大きさの下りの電位差を与えるように、前記3枚のグリッド電極の一部又は全部に電圧を印加する電圧印加部と を備えることを特徴とする阻止電位型エネルギー分析器。

IPC (4件)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/252 ,  G01T 1/29 ,  G01T 1/36

FI (4件)：

H01J37/05 ,  H01J37/252 Z ,  G01T1/29 A ,  G01T1/36 D

Fターム (11件)：

2G188BB10 ,  2G188BB12 ,  2G188BB14 ,  2G188BB15 ,  2G188CC41 ,  2G188DD05 ,  2G188DD18 ,  2G188EE10 ,  2G188EE36 ,  5C033AA01 ,  5C033RR04