有機材料のための蒸発源、有機材料のための蒸発源を有する装置、及び有機材料を堆積させるための方法。

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-560165
公開番号（公開出願番号）：特表2018-530664
出願日： 2016年01月15日
公開日（公表日）： 2018年10月18日
要約：

基板(10)上に原料物質を堆積させるための蒸発源(100)が説明される。蒸発源は蒸発坩堝(104)を含み、蒸発坩堝は原料物質を蒸発させるように構成され、蒸発源は更に1以上の出口(212)を有する分配ユニット(130)を含み、分配ユニットは蒸発坩堝と流体連通し、1以上の出口は堆積方向(101)へ基板に対して原料物質を供給するように構成され、蒸発源は更に1以上の開口部(221)を含むように設けられた第1の冷却遮蔽構成(201)、第1の冷却遮蔽構成(201)から距離を置いて設けられた加熱遮蔽構成(202)を含み、加熱遮蔽構成(202)は1以上の開孔(222)を含む。第1の冷却遮蔽構成(201)は分配ユニット(130)と加熱遮蔽構成(202)との間に配置され、蒸発源(100)は、堆積方向(101)へ1以上の出口(212)から1以上の開口部(221)及び1以上の開孔(222)を通って基板へ至る、材料のための経路を画定するように構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板(10)上に原料物質を堆積させるための蒸発源(100)であって、前記原料物質を蒸発させるように構成された、蒸発坩堝(104)、 1以上の出口(212)を有する分配ユニット(130)であって、前記蒸発坩堝と流体連通し、前記1以上の出口が堆積方向(101)へ前記基板に対して前記原料物質を供給するように構成された、分配ユニット(130)、 1以上の開口部(221)を備えた、第1の冷却遮蔽構成(201)、及び前記第1の冷却遮蔽構成(201)から距離を置いて設けられた加熱遮蔽構成(202)であって、1以上の開孔(222)を備えた、加熱遮蔽構成(202)を備え、前記第1の冷却遮蔽構成(201)が、前記分配ユニット(130)と前記加熱遮蔽構成(202)との間に配置され、且つ前記蒸発源(100)が、前記堆積方向(101)へ前記1以上の出口(212)から前記1以上の開口部(221)及び前記1以上の開孔(222)を通って前記基板へ至る、前記原料物質のための経路を画定するように構成されている、蒸発源(100)。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (2件)：

C23C14/24 A , C23C14/24 L

Fターム (12件)：

4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029BD01 , 4K029CA01 , 4K029DA10 , 4K029DB12 , 4K029DB13 , 4K029DB14 , 4K029DB23 , 4K029DB24 , 4K029HA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

有機材料用の蒸発源
公報種別：公表公報出願番号：特願2016-557604 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
成膜装置、及び成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-291037 出願人：株式会社アルバック

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