特許

J-GLOBAL ID：201803007815609204

蒸着装置および蒸着方法

発明者： 小林 勇毅 ,  川戸 伸一 ,  二星 学 ,  井上 智
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016069153
公開番号（公開出願番号）：WO2017-006810
出願日： 2016年06月28日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
要約：

蒸着装置(100)は、蒸着源(30)と、蒸着マスク(10)と、蒸着源と蒸着マスクとの間に配置された制限板ユニット(20)と、蒸着マスクと制限板ユニットとの間の部分で、かつ、平面視で、制限板ユニットの隣り合う制限板開口(21)間であって蒸着マスクの隣り合うマスク開口領域(11)間の非開口部(13)にガス壁(501)を形成するガス供給機構(50)と、を備えている。

請求項（抜粋）：

第1方向に複数の被成膜領域を有する被成膜基板の上記被成膜領域内に、上記第1方向に複数配列された所定パターンの蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、 蒸着粒子を射出する複数の蒸着源開口を有する蒸着源と、 上記複数の被成膜領域にそれぞれ対向して、上記蒸着膜のパターンに応じて上記第1方向に配列された複数のマスク開口を有するマスク開口領域が設けられた蒸着マスクと、 上記蒸着源と上記蒸着マスクとの間に配置され、上記第1方向に互いに離間して配置された複数の第1の制限板を有し、隣り合う上記第1の制限板間に、上記被成膜領域にそれぞれ対応して、上記蒸着粒子を通過させる第1の制限板開口が設けられた第1の制限板ユニットと、 上記蒸着マスクと上記第1の制限板ユニットとの間の部分にガス壁を形成するガス供給機構と、を備え、 上記ガス壁は、平面視で、上記第1方向における、上記第1の制限板ユニットの隣り合う上記第1の制限板開口間であって、上記蒸着マスクの隣り合うマスク開口領域間の非開口領域に形成されることを特徴とする蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 14/24 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/10

FI (5件)：

C23C14/24 M ,  C23C14/24 T ,  H05B33/14 A ,  H05B33/14 Z ,  H05B33/10

Fターム (27件)：

3K107AA01 ,  3K107AA05 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC35 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG33 ,  3K107GG34 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DA05 ,  4K029DA06 ,  4K029DA10 ,  4K029DA12 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029DB18 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  4K029JA06 ,  4K029KA01