特許

J-GLOBAL ID：201803007944570551

脱気装置

発明者： 佐藤 亮介
出願人/特許権者： 株式会社潤工社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-122185
公開番号（公開出願番号）：特開2017-225914
出願日： 2016年06月20日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：

【課題】脱気処理効率が高く脱気ユニットの長さを短くすることが可能で、圧力損失が低く、コンパクトにすることができる脱気装置の提供。【解決手段】複数本の熱溶融性フッ素樹脂製のチューブ111で構成される脱気ユニット110が、減圧チャンバー120内に配置された脱気装置100において、フッ素樹脂製のチューブ111は内径が0.5mm以下であり、(フッ素樹脂チューブ111内径×有効チューブ本数)/(チューブ束外径)の式で求められる処理能力の係数が、6以上である脱気装置100。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数本の熱溶融性フッ素樹脂製のチューブで構成される脱気ユニットが、減圧チャンバー内に配置された脱気装置において、前記フッ素樹脂製のチューブは内径が0.5mm以下であり、(前記フッ素樹脂チューブ内径×有効チューブ本数)/(チューブ束外径)の比で求められる処理能力の係数が、6以上である脱気装置

IPC (5件)：

B01D 61/00 ,  B01D 19/00 ,  B01D 63/06 ,  B01D 71/32 ,  B01D 71/36

FI (5件)：

B01D61/00 ,  B01D19/00 H ,  B01D63/06 ,  B01D71/32 ,  B01D71/36

Fターム (8件)：

4D006GA32 ,  4D006HA27 ,  4D006JA01B ,  4D006MA02 ,  4D006MA33 ,  4D006MC28 ,  4D006MC30 ,  4D011AA17