特許

J-GLOBAL ID：201803007952439146

ガラス基板及びこれを用いた積層体

発明者： 片山 裕貴
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016051932
公開番号（公開出願番号）：WO2016-136348
出願日： 2016年01月22日
公開日（公表日）： 2016年09月01日
要約：

本発明の技術的課題は、高密度配線に供される加工基板の支持に好適であり、且つ生産情報等を正確に識別し得るガラス基板及びこれを用いた積層体を創案することである。本発明のガラス基板は、この技術的課題を解決するために、全体板厚偏差が2.0μm未満であり、且つ複数のドットからなる情報識別部を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

全体板厚偏差が2.0μm未満であり、且つ複数のドットからなる情報識別部を有することを特徴とすることを特徴とするガラス基板。

IPC (1件)：

H01L 21/02

FI (1件)：

H01L21/02 B