特許
J-GLOBAL ID:201803008030880540
接着層の転写方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-131058
公開番号(公開出願番号):特開2018-002864
出願日: 2016年06月30日
公開日(公表日): 2018年01月11日
要約:
【課題】複雑な装置や製造工程を必要としないで、接着層を基板に転写する転写方法を提供すること。【解決手段】本発明の接着層の転写方法は、ベースフィルムと接着層とカバーフィルムで構成された転写シートを用意する工程と、接着層を露出するカバーフィルムを除去する工程と、接着層を加熱する工程と、接着層上に基板を搭載する工程と、接着層と基板を押し付けラミネートする工程と、接着層と基板を除熱し冷却する工程と、基板をピックアップしてベースフィルムと分離する分離工程とからなることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ベースフィルムと接着層とカバーフィルムで構成された転写シートを用意する工程と、前記接着層を露出する前記カバーフィルムを除去する工程と、前記接着層を加熱する工程と、前記接着層上に基板を搭載する工程と、前記接着層と前記基板を押し付けラミネートする工程と、前記接着層と前記基板を除熱し冷却する工程と、前記基板をピックアップして前記ベースフィルムと分離する分離工程と、を特徴とする接着層の転写方法。
IPC (4件):
C09J 7/20
, H01L 21/02
, H01L 27/12
, C09J 201/00
FI (4件):
C09J7/02 B
, H01L27/12 B
, H01L21/02 B
, C09J201/00
Fターム (4件):
4J004AB03
, 4J004DB02
, 4J040JA09
, 4J040NA20
前のページに戻る