特許

J-GLOBAL ID：201803008074080428

研磨シート並びにその製造方法及び研磨具

発明者： 奥村 勝弥 ,  藤稿 智史
出願人/特許権者： 株式会社巴川製紙所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-204316
公開番号（公開出願番号）：特開2018-065208
出願日： 2016年10月18日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
要約：

【課題】 本発明は、被研磨物の表面に深い傷やスクラッチを生じることなく、初期研磨から加工時間が経過しても研磨量の劣化が少なく耐久性に優れた研磨シート並びにその製造方法及び研磨具を提供することを目的とするものである。【解決手段】 不織布と、ポリイミド樹脂を含む樹脂層Aと、ポリイミド樹脂及び研磨材を含む樹脂層Bが積層された研磨シートであって、前記研磨材と不織布との最短距離の平均が3μm〜15μmである領域を含む研磨シート。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

不織布と、ポリイミド樹脂を含む樹脂層Aと、ポリイミド樹脂及び研磨材を含む樹脂層Bが積層された研磨シートであって、前記研磨材と不織布との最短距離の平均が3μm〜15μmである領域を含むことを特徴とする研磨シート。

IPC (3件)：

B24D 11/00 ,  B24B 37/24 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24D11/00 A ,  B24B37/24 E ,  H01L21/304 622F

Fターム (18件)：

3C063AA06 ,  3C063AB07 ,  3C063BA15 ,  3C063EE10 ,  3C063FF20 ,  3C158EB09 ,  3C158EB28 ,  3C158EB29 ,  5F057AA05 ,  5F057AA25 ,  5F057BA11 ,  5F057BB40 ,  5F057DA02 ,  5F057EB03 ,  5F057EB04 ,  5F057EB06 ,  5F057EB10 ,  5F057EB30