特許

J-GLOBAL ID：201803008144187640

シロキサザン化合物、およびそれを含む組成物、ならびにそれを用いたシリカ質膜の形成方法

発明者： 岡 村 聡 也 ,  中 段 直 孝 ,  バートラム、バーニッケル ,  小 崎 力 生 ,  中 本 奈緒子
出願人/特許権者： アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ
代理人 (6件)： 永井 浩之 ,  中村 行孝 ,  佐藤 泰和 ,  朝倉 悟 ,  前川 英明 ,  遠藤 逸子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-228237
公開番号（公開出願番号）：特開2018-083736
出願日： 2016年11月24日
公開日（公表日）： 2018年05月31日
要約：

【課題】シリカ質膜成膜プロセスの時間を短縮させることができるシロキサザン化合物とそれを含む組成物の提供。【解決手段】特定の構造を有するシロキサザン化合物であって、O原子とN原子の総数に対する、O原子の比率が、5%以上25%以下であり、かつ前記シロキサザン化合物をインバースゲートデカップリング法に基づく29Si-NMRにより得られるスペクトルにおいて、-25ppm〜-55ppmに検出されるピークの面積に対する、-75ppm〜-90ppmに検出されるピークの面積の比率が、4.0%以下である、シロキサザン化合物、およびそれを含む組成物。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

以下の一般式(I)および(II)

IPC (4件)：

C01B 33/12 ,  C08G 77/54 ,  H01L 21/316 ,  C08L 83/14

FI (4件)：

C01B33/12 C ,  C08G77/54 ,  H01L21/316 G ,  C08L83/14

Fターム (60件)：

4G072AA25 ,  4G072BB09 ,  4G072FF02 ,  4G072FF09 ,  4G072GG01 ,  4G072HH28 ,  4G072MM31 ,  4G072MM36 ,  4G072NN21 ,  4G072RR01 ,  4G072UU01 ,  4J002CP041 ,  4J002CP141 ,  4J002CP191 ,  4J246AA11 ,  4J246AB01 ,  4J246BA020 ,  4J246BA02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246BB02X ,  4J246BB080 ,  4J246BB082 ,  4J246BB08X ,  4J246CA010 ,  4J246CA01E ,  4J246CA01X ,  4J246CA23 ,  4J246CA23E ,  4J246CA250 ,  4J246CA25E ,  4J246CA330 ,  4J246CA33E ,  4J246CA340 ,  4J246CA34E ,  4J246CA390 ,  4J246CA39E ,  4J246FA021 ,  4J246FA081 ,  4J246FA121 ,  4J246FA151 ,  4J246FA171 ,  4J246FA321 ,  4J246FA371 ,  4J246FA431 ,  4J246FA451 ,  4J246FB213 ,  4J246FB231 ,  4J246GA11 ,  4J246GB04 ,  4J246GB06 ,  4J246GC16 ,  4J246GC52 ,  4J246GD08 ,  4J246GD09 ,  4J246HA63 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BH03 ,  5F058BJ02