特許
J-GLOBAL ID：201803008223028566
磁気軸受装置および真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-168546
公開番号（公開出願番号）：特開2015-036575
特許番号：特許第6244734号
出願日： 2013年08月14日
公開日（公表日）： 2015年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1のラジアル方向に関して回転軸を非接触支持する第1のラジアル電磁石と、
第2のラジアル方向に関して前記回転軸を非接触支持する第2のラジアル電磁石と、
第1の搬送波信号を生成する第1の搬送波生成部と、
前記第1の搬送波信号に対して位相が(π/2+θ)ラジアン異なる第2の搬送波信号を生成する第2の搬送波生成部と、
前記第1のラジアル方向の回転軸位置変位に応じて前記第1の搬送波信号を変調し、第1の変調信号を出力する第1の変位センサと、
前記第2のラジアル方向の回転軸位置変位に応じて前記第2の搬送波信号を変調し、第2の変調信号を出力する第2の変位センサと、
前記第1の搬送波信号がピークとなるタイミングから位相θずれたサンプリングタイミングで、前記第1の変調信号をサンプリングして復調を行う第1の復調部と、
前記第2の搬送波信号がピークとなるタイミングから位相(-θ)ずれたサンプリングタイミングで、前記第2の変調信号をサンプリングして復調を行う第2の復調部と、
前記第1および第2の復調部の復調結果に基づいて前記第1および第2のラジアル電磁石の電流を制御する制御部と、を備え、
前記位相θが-π/4≦θ≦π/4の範囲に設定される磁気軸受装置。
IPC (2件)：
F16C 32/04 ( 200 6.01)
, F04D 19/04 ( 200 6.01)
F16C 32/04 A
, F04D 19/04 A
