特許
J-GLOBAL ID：201803008239652014
試料観察装置及び試料観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
, 中山 浩光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-200075
公開番号（公開出願番号）：特開2018-063292
出願日： 2016年10月11日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：
【課題】観察画像データを得るまでのスループットの向上が図られる試料観察装置及び試料観察方法を提供する。【解決手段】試料観察装置1は、試料Sに面状光L2を照射する照射光学系3と、面状光L2の照射面Rに対して試料Sを走査する走査部4と、照射面Rに対して傾斜する観察軸P2を有し、面状光L2の照射によって試料Sで発生した観察光L3を結像する結像光学系5と、結像光学系5によって結像された観察光L3による光像の一部に対応する部分画像データを複数取得する画像取得部6と、画像取得部6によって生成された複数の部分画像データに基づいて試料Sの観察画像データを生成する画像生成部8と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料に面状光を照射する照射光学系と、
前記面状光の照射面に対して前記試料を走査する走査部と、
前記照射面に対して傾斜する観察軸を有し、前記面状光の照射によって前記試料で発生した観察光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系によって結像された前記観察光による光像の一部に対応する部分画像データを複数取得する画像取得部と、
前記画像取得部によって生成された複数の部分画像データに基づいて前記試料の観察画像データを生成する画像生成部と、を備えた試料観察装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (30件)：
2G043AA03
, 2G043CA04
, 2G043DA05
, 2G043EA01
, 2G043EA03
, 2G043EA14
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043GA04
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043GB03
, 2G043GB21
, 2G043HA01
, 2G043KA09
, 2G043LA02
, 2G043LA03
, 2G043NA05
, 2G043NA06
, 2H052AC04
, 2H052AC09
, 2H052AC15
, 2H052AC18
, 2H052AC33
, 2H052AC34
, 2H052AD16
, 2H052AD25
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
