特許

J-GLOBAL ID：201803008310797401

レーザ維持プラズマ光源におけるVUVフィルタリングを提供するためのプラズマセル

発明者： ベゼル イリヤ ,  シュエメリニン アナトリー ,  シフリン ユージーン ,  パンザー マシュー ,  ダースティン マシュー ,  ワン ジンチェン ,  チンマルジー アナント ,  パティル ラジーブ ,  ブランナー ルドルフ
出願人/特許権者： ケーエルエー-テンカー コーポレイション
代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-084339
公開番号（公開出願番号）：特開2018-113272
出願日： 2018年04月25日
公開日（公表日）： 2018年07月19日
要約：

【課題】短波長の光の吸収によるプラズマバルブの急速な損傷、及びプラズマバルブの過熱によるバルブの破裂を抑制する。【解決手段】レーザ維持プラズマ光源に用いるのに適した紫外光フィルタリングのためのプラズマセルであって、プラズマを発生させるのに適したガスを収容するように構成され、且つプラズマバルブ内のプラズマを維持するように構成されたポンプレーザから生じる光を実質的に通し、且つ前記プラズマによる発光の収集可能なスペクトル領域の少なくとも一部を実質的に通すプラズマバルブ102と、プラズマバルブ102の内面上に配置され、プラズマによる発光の選択されたスペクトル領域を遮断するように構成されるフィルタ層104を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ維持プラズマ光源に用いるのに適した紫外光フィルタリングのためのプラズマセルであって、 プラズマを発生させるのに適したガスを収容するように構成され、且つプラズマバルブ内のプラズマを維持するように構成されたポンプレーザから生じる光を実質的に通し、且つ前記プラズマによる発光の収集可能なスペクトル領域の少なくとも一部を実質的に通す、プラズマバルブと、 前記プラズマバルブの内面上に配置され、前記プラズマによる発光の選択されたスペクトル領域を遮断するように構成される、フィルタ層と、 を備えるプラズマセル。

IPC (7件)：

H01J 65/04 ,  H01J 61/30 ,  H01J 61/34 ,  H01J 61/35 ,  H01J 61/12 ,  H01J 61/16 ,  H01J 61/14

FI (10件)：

H01J65/04 Z ,  H01J61/30 N ,  H01J61/34 F ,  H01J61/35 F ,  H01J61/12 B ,  H01J61/16 F ,  H01J61/14 ,  H01J61/16 B ,  H01J61/34 C ,  H01J61/35 C

Fターム (11件)：

5C015PP02 ,  5C015PP03 ,  5C015PP04 ,  5C015PP05 ,  5C015PP06 ,  5C043AA20 ,  5C043CC19 ,  5C043CD05 ,  5C043CD19 ,  5C043EA14 ,  5C043EA15