特許

J-GLOBAL ID：201803008452638963

原子層堆積巻き取り成膜装置、原子層堆積方法

発明者： 佐々木 康裕
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (4件)： 松沼 泰史 ,  鈴木 史朗 ,  清水 雄一郎 ,  大槻 真紀子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016070445
公開番号（公開出願番号）：WO2017-014092
出願日： 2016年07月11日
公開日（公表日）： 2017年01月26日
要約：

原子層堆積巻き取り成膜装置は、基材と搬送補助材とをそれぞれ巻き出し、前記基材の一方の面に前記搬送補助材が剥離可能に積層された被成膜部材を形成し、前記被成膜部材を送り出すように構成される巻き出し装置と、第一前駆体ガスが導入される第一真空気室と、第二前駆体ガスが導入される第二真空気室と、前記第一真空気室と前記第二真空気室との間に設けられ、パージガスが導入される第三真空気室と、前記被成膜部材の幅方向両端部を保持する保持部を有し、前記被成膜部材を、前記第一真空気室,前記第二真空気室,および前記第三真空気室に搬送する搬送機構と、前記搬送機構から送り出された前記被成膜部材の前記基材を巻き取る巻き取り装置と、を備え、前記搬送機構により、前記被成膜部材を前記第一真空気室および前記第二真空気室を交互に複数回通過させて、前記被成膜部材における前記基材の他方の面に原子層を堆積させて原子層堆積膜を形成する。

請求項（抜粋）：

原子層堆積巻き取り成膜装置であって、 基材と搬送補助材とをそれぞれ巻き出し、前記基材の一方の面に前記搬送補助材が剥離可能に積層された被成膜部材を形成し、前記被成膜部材を送り出すように構成される巻き出し装置と、 第一前駆体ガスが導入される第一真空気室と、 第二前駆体ガスが導入される第二真空気室と、 前記第一真空気室と前記第二真空気室との間に設けられ、パージガスが導入される第三真空気室と、 前記被成膜部材の幅方向両端部を保持する保持部を有し、前記被成膜部材を、前記第一真空気室,前記第二真空気室,および前記第三真空気室に搬送する搬送機構と、 前記搬送機構から送り出された前記被成膜部材の前記基材を巻き取る巻き取り装置と、 を備え、 前記搬送機構により、前記被成膜部材を前記第一真空気室および前記第二真空気室を交互に複数回通過させて、前記被成膜部材における前記基材の他方の面に原子層を堆積させて原子層堆積膜を形成する 原子層堆積巻き取り成膜装置。

IPC (2件)：

C23C 16/54 ,  C23C 16/455

FI (2件)：

C23C16/54 ,  C23C16/455

Fターム (13件)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA43 ,  4K030CA07 ,  4K030CA17 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030GA14 ,  4K030HA01 ,  4K030LA02 ,  4K030LA16 ,  4K030LA18