特許
J-GLOBAL ID:201803008479244550
光学特性測定装置及び光学特性測定装置の設定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 櫻井 智
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2016065113
公開番号(公開出願番号):WO2016-203902
出願日: 2016年05月23日
公開日(公表日): 2016年12月22日
要約:
光学特性測定装置は、分光センサを用いた測定について、第1の露光時間及び第1の積算回数が入力される入力部と、入力された第1の露光時間と第1の積算回数とを用いて、分光センサを用いた測定の測定時間(第1の測定時間)を算出する算出部と、第1の測定時間と二次元イメージセンサを用いた測定の測定時間(第2の測定時間)との差を小さくし、又は、差をなくすように、二次元イメージセンサを用いた測定での第2の露光時間及び第2の積算回数の少なくとも一方を決定する決定部と、を備える。
請求項(抜粋):
測定対象における二次元領域を測定範囲とする第1の光学センサと、
前記二次元領域に含まれ、かつ、前記二次元領域より狭いスポット領域を測定範囲とする第2の光学センサと、
前記第1の光学センサ及び前記第2の光学センサうち、一方の光学センサを用いた測定について、第1の露光時間及び第1の積算回数が入力される入力部と、
前記入力部に入力された前記第1の露光時間と前記第1の積算回数とを用いて、前記一方の光学センサを用いた測定の測定時間である第1の測定時間を算出する算出部と、
前記第1の測定時間と、前記第1の光学センサ及び前記第2の光学センサうち、他方の光学センサを用いた測定の測定時間である第2の測定時間との差を小さくし、又は、前記差をなくすように、前記他方の光学センサを用いた測定での第2の露光時間及び第2の積算回数の少なくとも一方を決定する決定部と、を備える光学特性測定装置。
IPC (4件):
G01J 1/44
, G01J 1/38
, G01M 11/00
, G01J 3/51
FI (4件):
G01J1/44 H
, G01J1/38
, G01M11/00 T
, G01J3/51
Fターム (26件):
2G020AA08
, 2G020DA02
, 2G020DA03
, 2G020DA04
, 2G020DA06
, 2G020DA13
, 2G020DA23
, 2G020DA32
, 2G020DA63
, 2G020DA65
, 2G065AA02
, 2G065AA04
, 2G065AB04
, 2G065AB16
, 2G065AB30
, 2G065BA04
, 2G065BA34
, 2G065BB14
, 2G065BB26
, 2G065BB28
, 2G065BC20
, 2G065BC28
, 2G065BC33
, 2G065BC35
, 2G065DA01
, 2G086EE10
前のページに戻る