特許
J-GLOBAL ID:201803008539991090

定置洗浄方法ならびにそのためのシステム及び組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 青木 篤 ,  三橋 真二 ,  高橋 正俊 ,  胡田 尚則 ,  河原 肇 ,  明石 尚久
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-504989
公開番号(公開出願番号):特表2018-526200
出願日: 2016年07月29日
公開日(公表日): 2018年09月13日
要約:
機器の定置洗浄方法は、複数の洗浄サイクル及び任意選択のすすぎを含み、各洗浄サイクルは、第1の洗浄溶液を第1の供給タンクから第1のノズルセットを通して適用することと、第2の洗浄溶液を第2の供給タンクから第2のノズルセットを通して適用することと、を含む。第1の洗浄溶液は約20秒〜約10分間、第2の洗浄溶液は約1分〜約60分間適用されてもよい。洗浄サイクルは5〜150回繰り返すことができ、第1及び第2の洗浄溶液はプロセスの間再循環させることができる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
機器の定置洗浄方法であって、前記方法は、複数の洗浄サイクル、及び任意選択のすすぎを含み、前記複数の洗浄サイクルが、3つ以上の洗浄サイクルを含み、各洗浄サイクルが、 (a)第1の洗浄溶液を第1の供給タンクから第1のノズルセットを通して適用することと、 (b)第2の洗浄溶液を第2の供給タンクから第2のノズルセットを通して適用することと、を含む、方法。
IPC (3件):
B08B 9/093 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/08
FI (3件):
B08B9/093 ,  B08B3/02 Z ,  B08B3/08 Z
Fターム (9件):
3B116AA33 ,  3B116AB52 ,  3B116BB22 ,  3B116CD43 ,  3B201AA33 ,  3B201AB53 ,  3B201BB22 ,  3B201BB92 ,  3B201CD43
引用特許:
審査官引用 (11件)
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