特許

J-GLOBAL ID：201803008736677594

マグネトロンスパッタリング用磁場発生装置

発明者： 栗山 義彦
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (2件)： 高石 橘馬 ,  高石 健二
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016057752
公開番号（公開出願番号）：WO2016-148058
出願日： 2016年03月11日
公開日（公表日）： 2016年09月22日
要約：

ターゲット表面に磁場を発生させるためのレーストラック形状のマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置であって、磁性体からなるベース上に、(a)直線状に配置された中央部永久磁石(垂直方向に磁化)と、(b)中央部永久磁石を取り囲むように配置された外周部永久磁石(垂直方向に磁化)と、(c)中央部永久磁石の両側に配置された第一の中間部永久磁石(垂直方向に磁化)、第二の中間部永久磁石(水平方向に磁化)及び第三の中間部永久磁石(垂直方向に磁化)と、(d)中央部永久磁石の長手方向両端部から離間して配置された第四の中間部永久磁石(垂直方向に磁化)とを有し、第二の中間部永久磁石は一方の磁極が第一の中間部永久磁石のターゲット寄り側面と対向するように配置されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ターゲットに対向し、ターゲット表面に磁場を発生させるための、直線部及びコーナー部からなるレーストラック形状のマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置であって、 磁性体からなるベース上に、 (a)前記直線部に、磁化方向が前記ターゲット表面に垂直になるように直線状に配置された中央部永久磁石と、 (b)前記中央部永久磁石を取り囲むように、磁化方向が前記ターゲット表面に垂直で、かつ前記ターゲットに対向する磁極が前記中央部永久磁石と逆になるように配置された、前記レーストラック形状の外周を形成する外周部永久磁石と、 (c)前記直線部の前記中央部永久磁石を挟んだ両側に、前記中央部永久磁石と平行に、前記外周部永久磁石に向けて順に、直線状に設けられた第一の中間部永久磁石、第二の中間部永久磁石及び第三の中間部永久磁石と、 (d)前記コーナー部に、前記中央部永久磁石の両端部から長手方向に離間して、磁化方向が前記ターゲット表面に垂直で、かつ前記ターゲットに対向する磁極が前記中央部永久磁石と逆になるように配置された第四の中間部永久磁石とを有し、 前記第一の中間部永久磁石は、磁化方向が前記ターゲット表面に垂直で、かつ前記ターゲットに対向する磁極が前記中央部永久磁石と逆になるように配置され、 前記第二の中間部永久磁石は、磁化方向が前記ターゲット表面に平行で、一方の磁極が前記第一の中間部永久磁石のターゲット寄り側面と対向し、前記側面と対向する磁極が前記中央部永久磁石の前記ターゲットに対向する磁極と逆になるように磁気空隙を介してベース上に配置され、 前記第三の中間部永久磁石は、磁化方向が前記ターゲット表面に垂直で、かつ前記ターゲットに対向する磁極が前記中央部永久磁石と同じなるように配置されることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置。

IPC (1件)：

C23C 14/35

FI (1件)：

C23C14/35 C

Fターム (3件)：

4K029DC40 ,  4K029DC42 ,  4K029DC43