特許
J-GLOBAL ID：201803008795009716

大面積基板コーティング装置

発明者：
ゴピ、バスカル・パガダラ

ゴピ、バスカル・パガダラ について

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アブデル-カリム、ロジャー

アブデル-カリム、ロジャー について

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バッケス、パトリック・マリー・アントニウス

バッケス、パトリック・マリー・アントニウス について


出願人/特許権者：
アイクストロン、エスイー

アイクストロン、エスイー について


代理人 (2件)： 小島 高城郎 ,  河合 典子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-540851
公開番号（公開出願番号）：特表2018-511695
出願日： 2016年02月01日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
要約：
基板(8)をコーティングするために、均一に分散されたガス出口孔(6)を設けたガス出口面(2’)を具備するガス分配室(5)を有するガス入口部材(2)を備え、ガス分配室(5)に供給されたプロセスガスがガス出口孔を通してプロセスチャンバ(7)に、そして、プロセスチャンバの床に配置された基板(8)に到達することができ、ガス出口面が、共通する面内に位置する複数のガス出口プレート(10、11、12、13、14、15、16、17、18、19)から形成された装置である。数平方メートルのガス出口面が共通する面内に位置する複数のガス出口プレートから形成され、隣り合うガス出口プレート(10〜19)が分離ゾーンで互いに結合され、分離ゾーンはガス分配室(5)を規定する側壁から離れて配置されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板(8)をコーティングするために、均一に分散されたガス出口孔(6)を設けたガス出口面(2’)を具備するガス分配室(5)を有するガス入口部材(2)を備え、ガス分配室(5)に供給されたプロセスガスがガス出口孔を通してプロセスチャンバ(7)に、そして、プロセスチャンバの床に配置された基板(8)に到達することができ、ガス出口面が、共通する面内に位置する複数のガス出口プレート(10、11、12、13、14、15、16、17、18、19)から形成され、ガス出口プレートは、ガス分配室(5)の容積を規定する側壁(5’)から離れて配置された分離ゾーン(10’、10”、11’、11”、12’、12”、13’、13”、14”、15’、16’、17’、18’)の領域にて互いに結合されている装置であって、 隣り合う2枚のガス出口プレート(10〜19)が、プロセスチャンバの床に対するガス出口プレート(10〜19)の距離を調整するために、分離ゾーン(10’、10”、11’、11”、12’、12”、13’、13”、14”、15’、16’、17’、18’)に沿って蝶番状に互いに変位させられることを特徴とする装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H01L 21/31 ,  F27D 7/02
FI (3件)：
C23C14/24 A ,  H01L21/31 B ,  F27D7/02 Z
Fターム (18件)：
4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029DA04 ,  4K029DB12 ,  4K063AA05 ,  4K063AA15 ,  4K063CA03 ,  4K063DA13 ,  4K063DA32 ,  5F045AA00 ,  5F045AB40 ,  5F045AD01 ,  5F045BB08 ,  5F045CA09 ,  5F045DP03 ,  5F045EF05 ,  5F045EF09 ,  5F045EJ03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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