特許
J-GLOBAL ID：201803008918382875
電子放出素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
田中 光雄
, 山崎 宏
, 磯江 悦子
, 山崎 敏行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-143789
公開番号（公開出願番号）：特開2015-018637
特許番号：特許第6247846号
出願日： 2013年07月09日
公開日（公表日）： 2015年01月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1電極と、
前記第1電極上に形成され、少なくとも絶縁性微粒子を含む電子加速層であって、前記電子加速層内で電子を加速するための電子加速層と、
前記電子加速層上に形成された第2電極であって、ダイヤモンドの結晶構造とグラファイトの結晶構造とが混在した非晶質炭素膜を含む、第2電極と
を備え、
前記第1電極と前記第2電極との間への電圧の印加により前記電子加速層で加速された電子が前記第2電極の表面側から外部に放出すると共に、
前記第2電極は、
前記非晶質炭素膜の仕事関数より小さい仕事関数を有する導電膜と、
前記導電膜の前記電子加速層とは反対側に形成された前記非晶質炭素膜と
を含む積層構造を有している、電子放出素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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