特許

J-GLOBAL ID：201803008939585709

移動装置

発明者： 古田 匡智 ,  細井 孝輔
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-196096
公開番号（公開出願番号）：特開2018-058660
出願日： 2016年10月04日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
要約：

【課題】一対の磁石を用いて、隔壁を隔てた向こう側にある対象物を移動させるにあたって、高い位置決め精度を実現できる技術を提供する。【解決手段】隔壁(例えば、チャンバー101の底壁)を介してステージ105を移動させるための移動装置10であって、隔壁の一方の側に、ステージ105に対して固定するように配置された第1磁石1と、隔壁の他方の側に、異なる極性の磁極が向かい合うように第1磁石1と対向配置された第2磁石2と、当該他方の側であって、ステージ105の移動方向について第2磁石2から所定の間隔を設けた位置に、第2磁石2と極性の向きを逆にして配置された、第2磁石2の磁力と同等以下の磁力を有する第3磁石3と、第2磁石2と第3磁石3とを、互いの位置関係を固定したまま移動させる駆動機構と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

隔壁を介して対象物を移動させるための移動装置であって、 前記隔壁の一方の側に、前記対象物に対して固定するように配置された第1磁石と、 前記隔壁の他方の側に、異なる極性の磁極が向かい合うように前記第1磁石と対向配置された第2磁石と、 前記他方の側であって、前記対象物の移動方向について前記第2磁石から所定の間隔を設けた位置に、前記第2磁石と極性の向きを逆にして配置された、前記第2磁石の磁力と同等以下の磁力を有する第3磁石と、 前記第2磁石と前記第3磁石とを、互いの位置関係を固定したまま移動させる駆動機構と、 を備える、移動装置。

IPC (1件)：

B65G 54/02

FI (1件)：

B65G54/02

Fターム (3件)：

3F021AA01 ,  3F021BA03 ,  3F021CA06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 循環型飲食物搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-061574   出願人：株式会社石野製作所

審査官引用 (1件)

• 循環型飲食物搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-061574   出願人：株式会社石野製作所