特許

J-GLOBAL ID：201803009477487346

13族窒化物結晶の製造方法及び13族窒化物結晶基板の製造方法

発明者： 岩田 浩和
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-177667
公開番号（公開出願番号）：特開2018-043893
出願日： 2016年09月12日
公開日（公表日）： 2018年03月22日
要約：

【課題】コストの軽減と高品質化とを両立させる。【解決手段】アルカリ金属及び13族金属を含む混合融液15中に気相から窒素を融解し、混合融液15中に保持されたサファイア基板16から13族窒化物を結晶成長させることにより13族窒化物結晶20を製造する方法であって、サファイア基板16の主面を窒化することにより、主面上に窒素極性面が上面側に位置する窒化アルミニウムを形成する工程と、窒化アルミニウムから13族窒化物を結晶成長させることにより、サファイア基板16上に13族金属極性面が上面側に位置する13族窒化物結晶20を形成する工程と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルカリ金属及び13族金属を含む混合融液中に気相から窒素を融解し、前記混合融液中に保持されたサファイア基板から13族窒化物を結晶成長させることにより13族窒化物結晶を製造する方法であって、 前記サファイア基板の主面を窒化することにより、前記主面上に窒素極性面が上面側に位置する窒化アルミニウムを形成する工程と、 前記窒化アルミニウムから前記13族窒化物を結晶成長させることにより、前記サファイア基板上に13族金属極性面が上面側に位置する前記13族窒化物結晶を形成する工程と、 を含む13族窒化物結晶の製造方法。

IPC (1件)：

C30B 29/38

FI (1件)：

C30B29/38 D

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BE15 ,  4G077CC04 ,  4G077ED06 ,  4G077EF03 ,  4G077LA01