特許

J-GLOBAL ID：201803009651408191

酸窒化ケイ素膜により覆われたインターディジタル電極を含む弾性波デバイス

発明者： 松田 聡 ,  西村 淳 ,  壁 義郎
出願人/特許権者： スカイワークス ソリューションズ,インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  原 裕子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-047661
公開番号（公開出願番号）：特開2018-157564
出願日： 2018年03月15日
公開日（公表日）： 2018年10月04日
要約：

【課題】動作温度範囲全体にわたり、実質的にゼロの速度温度係数を示す弾性波デバイスを提供する。【解決手段】弾性波デバイスは、圧電基板25と、圧電基板に配置されたインターディジタルトランスデューサ電極15を有する。インターディジタルトランスデューサ電極15は、窒化ケイ素を含む誘電体膜40に覆われている。誘電体膜40は、-55°Cから125°Cの弾性波デバイスの動作温度範囲全体にわたり実質的にゼロの速度温度係数を示す。【選択図】図1C

請求項（抜粋）：

弾性波デバイスであって、 圧電基板と、 前記圧電基板に配置された一対の交互に入り組んだインターディジタルトランスデューサ電極と、 酸窒化ケイ素を含む誘電体膜と を含み、 前記誘電体膜は、前記一対の交互に入り組んだインターディジタルトランスデューサ電極を覆い-55°Cから125°Cの前記弾性波デバイスの動作温度範囲全体にわたり実質的にゼロの速度温度係数を示す弾性波デバイス。

IPC (3件)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/64 ,  H03H 9/72

FI (3件)：

H03H9/145 C ,  H03H9/64 Z ,  H03H9/72

Fターム (5件)：

5J097AA22 ,  5J097BB15 ,  5J097EE08 ,  5J097KK07 ,  5J097KK09