特許
J-GLOBAL ID:201803009903869685

二重曲げイオンガイド及びそれを使用する装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-561366
公開番号(公開出願番号):特表2018-515899
出願日: 2016年05月25日
公開日(公表日): 2018年06月14日
要約:
進入する粒子ビームのイオンを効果的に二重曲げするDC多重極を有する装置の特定の構成がここに記載される。いくつかの例では、この装置は、進入する粒子ビームの第1イオンを、粒子ビームの進入軌道と異なる角度で第1内部軌道に沿って効果的に導くDC電界を形成するように構成される第1多重極を有する。第1多重極は更に、第1多重極のイオンを、粒子ビームの第1内部軌道の角度と異なる第2内部軌道に沿って導くように構成してもよい。
請求項(抜粋):
進入する粒子ビームの第1イオンを、前記粒子ビームの進入軌道に対して実質的に直交する第1内部軌道に沿って効果的に導くDC電界を形成するように構成される複数の電極を有する第1多重極を備え、前記第1多重極の前記複数の電極は更に、前記導かれた第1イオンを、前記第1内部軌道に対して実質的に直交する第2内部軌道に沿って導くように構成される、装置。
IPC (2件):
H01J 49/28 ,  H01J 49/06
FI (2件):
H01J49/28 ,  H01J49/06
Fターム (7件):
5C038FF07 ,  5C038FF10 ,  5C038FF13 ,  5C038HH05 ,  5C038HH16 ,  5C038HH28 ,  5C038HH30
引用特許:
審査官引用 (4件)
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