特許
J-GLOBAL ID：201803010039364990
ウエハーレベルパッケージの試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 秀治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-042378
公開番号（公開出願番号）：特開2018-148060
出願日： 2017年03月07日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：
【課題】小スペースで多段構成を可能にし、且つ低コストの製作が可能になる、ウエハーレベルパッケージの試験装置を提供することにある。【解決手段】 前記ウエハートレー20は、複数のウエハー位置制御機構29を備え、前記ウエハー位置制御機構29を個々に且つ相互に制御することで、前記ウエハーレベルパッケージ40を所定の方向に所定の距離を移動させ、前記ウエハーレベルパッケージ40と前記プローブカード60を高精度に位置決めし、さらに前記ウエハートレー20に搭載した嵌め合い機構24と、前記プローブカード60に設けられる前記トレー位置決めピン63の嵌合により高精度に位置決めができる。なお、前記アライメント用撮影機構84の位置情報で、前記ウエハー位置制御機構29と前記ウエハー回転制御機構87が制御される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウエハーレベルパッケージを搭載するウエハートレーを搭載し、
プローブカードを搭載するテスターボードユニットを備え、
ウエハーレベルパッケージの端子とプローブカードの端子間の接触圧に、真空圧を利用して試験を実施するウエハーレベルパッケージの試験装置であり、
前記ウエハートレーは、
前記ウエハーレベルパッケージの端子を収容する穴を備え、
該ウエハーレベルパッケージが搭載される時に、位置決めを行う複数のウエハー位置制御機構を備えると共に、
前記ウエハートレーを前記テスターボードユニットに搭載する時に、複数のトレー位置決めピンと嵌合する複数の嵌め合い機構を備えることを特徴とする、ウエハーレベルパッケージの試験装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 B
, G01R31/26 Z
, G01R31/26 J
2G003AA10
, 2G003AG11
, 2G003AG14
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD05
, 4M106DD10
, 4M106DD13
, 4M106DD16
, 4M106DD23
, 4M106DD30
, 4M106DJ02
