特許

J-GLOBAL ID：201803010059162641

透明板の形状測定方法および形状測定装置

発明者： 北川 克一
出願人/特許権者： 株式会社溝尻光学工業所 ,  北川 克一
代理人 (1件)： 特許業務法人SSINPAT
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-131569
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004442
出願日： 2016年07月01日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】透明板である被測定試料の特定箇所の表面高さ、裏面高さ、板厚の少なくともいずれかを精度よく、かつ、簡単な操作で求めることのできる透明板の形状測定方法および形状測定装置を提供する。【解決手段】照明光源10からの照明光の波長を時間的にシフトして、干渉像を変化させながら、該干渉像を撮像手段16により連続的に撮像するとともに、波長測定手段17により照明光の波長を測定し、撮像して得られた干渉輝度信号に対して、所定のモデル関数を適合することによって、被測定試料14の各位置での表面高さ、裏面高さ、板厚分布のうち少なくともいずれかを測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

照明光の波長を時間的に変化させ得る照明光源と、 前記波長を測定する波長測定手段と、 前記照明光源からの光束を平行光束とした後、該平行光束を参照面上および透明板である被測定試料に導く光学系ユニットと、 前記参照面と、前記被測定試料の表面と、前記被測定試料の裏面と、からの反射光の干渉により得られた干渉像を連続的に撮像する撮像手段と、 を備えた形状測定装置を用いた透明板の形状測定方法であって、 前記照明光源からの照明光の波長を時間的にシフトして、前記干渉像を変化させながら、該干渉像を前記撮像手段により連続的に撮像するとともに、前記波長測定手段により前記照明光の波長を測定し、 撮像して得られた干渉輝度信号に対して、下記式(1)に基づくモデル関数を適合することによって、前記被測定試料の各位置での表面高さ、裏面高さ、板厚分布のうち少なくともいずれかを測定することを特徴とする形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/06 ,  G01B 9/02

FI (3件)：

G01B11/24 D ,  G01B11/06 G ,  G01B9/02

Fターム (29件)：

2F064AA09 ,  2F064CC01 ,  2F064CC04 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064FF08 ,  2F064GG22 ,  2F064GG44 ,  2F064GG55 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA24 ,  2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG25 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL46 ,  2F065NN06 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29