特許

J-GLOBAL ID：201803010949353096

面状のガラス部材から部分片をレーザアシストにより切り離すための方法および装置

発明者： ファビアン ヴァーグナー ,  アンドレアス オアトナー ,  アルブレヒト ザイドル ,  フランク-トーマス レンテス ,  イェアン ゲアバン ,  ズィーモン シュミット
出願人/特許権者： ショット アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (5件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  森田 拓 ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-501293
公開番号（公開出願番号）：特表2018-526312
出願日： 2016年07月06日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：

本願では、切り離すべき部分片(4)と残留させるべき主部(3)とに面状のガラス部材(2)を分ける所定の分割線(21)に沿って、当該ガラス部材(2)から当該部分片(4)を切り離す方法であって、ガラス部材(2)の体積に線条状の傷(20)を分割線(21)に沿って並べて形成し、傷(20)を超短パルスレーザ(10)のレーザパルス(12)によって形成し、ガラス部材(2)の材料はレーザパルス(12)に対して透過性であり、レーザパルス(12)はガラス部材(2)の体積においてプラズマを生成し、当該プラズマは線条状の傷(20)を形成し、ガラス部材(2)上におけるレーザパルス(12)の入射点(13)を当該ガラス部材(2)の表面(22)上において分割線(21)に沿って移動させ、分割線(21)に沿って並んで配置された線条状の傷(20)を入れた後、部分片(4)と主部(3)とをそれぞれ完全体として維持しながら、並んだ線条状の傷(20)において部分片(4)を分割線(21)に沿って主部(3)から引き離すように、ガラス部材(2)の主部(3)の領域を加熱して膨張させ、および/または、ガラス部材(2)の部分片(4)の領域を冷却して圧縮させる方法を開示する。

請求項（抜粋）：

切り離すべき部分片(4)と残留させるべき主部(3)とに面状のガラス部材(2)を分ける所定の分割線(21)に沿って、前記ガラス部材(2)から前記部分片(4)を切り離す方法であって、 前記ガラス部材(2)の体積に線条状の傷(20)を前記分割線(21)に沿って並べて形成し、 前記傷(20)を超短パルスレーザ(10)のレーザパルス(12)によって形成し、前記ガラス部材(2)の材料は、前記レーザパルス(12)に対して透過性であり、 前記レーザパルス(12)は、前記ガラス部材(2)の体積においてプラズマを生成し、前記プラズマは、前記線条状の傷(20)を形成し、 前記ガラス部材(2)上における前記レーザパルス(12)の入射点(13)を前記ガラス部材(2)の表面(22)上において前記分割線(21)に沿って移動させ、 前記分割線(21)に沿って並んで配置された前記線条状の傷(20)を入れた後、前記部分片(4)と前記主部(3)とをそれぞれ完全体として維持しながら、並んだ前記線条状の傷(20)において前記部分片(4)を前記分割線(21)に沿って前記主部(3)から引き離すように、前記ガラス部材(2)の前記主部(3)の領域を加熱して膨張させ、および/または、前記ガラス部材(2)の前記部分片(4)の領域を冷却して圧縮させる、 方法。

IPC (2件)：

C03B 33/09 ,  B23K 26/359

FI (2件)：

C03B33/09 ,  B23K26/359

Fターム (10件)：

4E168AD02 ,  4E168CB03 ,  4E168DA23 ,  4E168DA43 ,  4E168JA14 ,  4G015FA03 ,  4G015FA06 ,  4G015FB01 ,  4G015FC12 ,  4G015FC14