特許

J-GLOBAL ID：201803011460048785

炭化珪素半導体装置の駆動方法および炭化珪素半導体装置の駆動回路

発明者： 米澤 喜幸 ,  宮島 將昭 ,  俵 武志 ,  呂 民雅 ,  竹中 研介 ,  宮里 真樹 ,  藤本 卓巳 ,  大月 章弘 ,  土田 秀一
出願人/特許権者： 国立研究開発法人産業技術総合研究所 ,  富士電機株式会社 ,  一般財団法人電力中央研究所
代理人 (1件)： 酒井 昭徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-136449
公開番号（公開出願番号）：特開2018-007219
出願日： 2016年07月08日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】炭化珪素半導体装置をバイポーラ動作させることで発生した三角状・帯状の積層欠陥を低温で縮小させる。【解決手段】炭化珪素半導体装置の駆動方法は、炭化珪素半導体装置のオフ時に、炭化珪素半導体装置のオン時に流れる電流より小さい微小電流を一定時間半導体装置に流す。また、炭化珪素半導体装置の駆動方法は、炭化珪素半導体装置のオン時に成長した積層欠陥を縮小するために必要な時間、微小電流を流す。また、微小電流の電流密度は、前記微小電流による積層欠陥の縮小が最大となる電流密度を使用する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

炭化珪素半導体装置のオフ時に、前記炭化珪素半導体装置のオン時に流れる電流より小さい微小電流を、所定時間の間、前記炭化珪素半導体装置に流す工程、 を含むことを特徴とする炭化珪素半導体装置の駆動方法。

IPC (4件)：

H03K 17/56 ,  H03K 19/003 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/78

FI (3件)：

H03K17/56 Z ,  H03K19/003 Z ,  H01L29/78 658Z

Fターム (18件)：

5J032AA06 ,  5J032AB02 ,  5J032AC18 ,  5J055AX37 ,  5J055BX16 ,  5J055DX09 ,  5J055DX22 ,  5J055DX55 ,  5J055EY05 ,  5J055EY10 ,  5J055EY12 ,  5J055EZ15 ,  5J055EZ61 ,  5J055EZ63 ,  5J055GX01 ,  5J055GX04 ,  5J055GX06 ,  5J055GX08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 炭化珪素半導体装置、炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置の制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-082390   出願人：富士電機株式会社
• 三相インバータ回路及びドライバ回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-007876   出願人：株式会社東芝
• 半導体制御装置、スイッチング装置、インバータ及び制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-212167   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 半導体素子、半導体装置および電力変換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-014688   出願人：パナソニック株式会社

審査官引用 (3件)

• 炭化珪素半導体装置、炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置の制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-082390   出願人：富士電機株式会社
• 三相インバータ回路及びドライバ回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-007876   出願人：株式会社東芝
• 半導体制御装置、スイッチング装置、インバータ及び制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-212167   出願人：トヨタ自動車株式会社