特許
J-GLOBAL ID:201803011462745815

塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-119720
公開番号(公開出願番号):特開2017-221913
出願日: 2016年06月16日
公開日(公表日): 2017年12月21日
要約:
【課題】吐出ユニットを構成する複数の吐出ノズルの各々に対して、ノズル状態検査モードを有する塗布装置を提供すること。【解決手段】液滴Lを吐出する複数の吐出ノズルを有する吐出ユニット2と、液滴を着弾させる検査面3と、検査面に対して平行な方向に、吐出ユニットと検査面とを相対移動させる移動機構4と、を備え、吐出ノズルから検査面へ液滴を吐出し、吐出ノズルの状態を検査するノズル状態検査モードを有する塗布装置1であって、吐出ノズルから吐出される液滴の飛翔状態を検査する飛翔状態検査部50と、検査面に着弾した液滴の着弾位置を検査する着弾位置検査部55と、を備え、ノズル状態検査モードは、飛翔状態検査部で撮像された液滴の飛翔状態に基づいて液滴吐出状態をを検査する第1検査モードと、第1検査モードで異常無しと判定された吐出ノズルの液滴吐出状態を検査する第2検査モードと、を有する塗布装置1。【選択図】図1
請求項(抜粋):
液滴を吐出する複数の吐出ノズルを有する吐出ユニットと、 液滴を着弾させる検査面と、 前記検査面に対して平行な方向に、前記吐出ユニットと前記検査面とを相対的に移動させる移動機構と、 を備え、 前記複数の吐出ノズルのうち検査対象とする吐出ノズルから前記検査面へ液滴を吐出し、当該吐出ノズルの状態を検査するノズル状態検査モードを有する塗布装置であって、 前記検査対象とする吐出ノズルから吐出される液滴の飛翔状態を検査する飛翔状態検査部と、 前記検査面に着弾した液滴の着弾状態を検査する着弾状態検査部と、 を備え、 前記ノズル状態検査モードは、 前記検査対象とする吐出ノズルについて、前記飛翔状態検査部で検査された液滴の飛翔状態に基づいて、液滴吐出状態をを検査する第1検査モードと、 前記第1検査モードで異常無しと判定された吐出ノズルから前記検査面に向けて液滴を吐出して、当該検査面に付着した液滴の着弾状態を前記着弾状態検査部にて検査することで、当該第1検査モードで異常無しと判定された吐出ノズルの液滴吐出状態を検査する第2検査モードと、 を有することを特徴とする、塗布装置。
IPC (2件):
B05C 11/00 ,  B05C 5/00
FI (2件):
B05C11/00 ,  B05C5/00 101
Fターム (10件):
4F041AA02 ,  4F041AB01 ,  4F041BA01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F042AA02 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042BA27 ,  4F042DH09

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