特許

J-GLOBAL ID：201803011567229227

リソグラフィ装置及びデバイス製造方法

発明者： ヴェステルラケン,ジャン,スティーブン,クリスティアーン ,  バッゲン,マーセル,コエンラード,マリエ ,  ヤコブス,フランシスカス,マティス ,  ラーイメイカーズ,ジェロエン,アルノルドス,レオナルドス,ヨハネス ,  ヴァン デン ベルクモルテル,フランク,ピーター,アルベルト ,  ヴァン デル ウィスト,マルク,ウィルヘルムス,マリア
出願人/特許権者： エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-548302
公開番号（公開出願番号）：特表2018-511081
出願日： 2016年02月22日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：

リソグラフィ装置のための測定システムは、基準フレーム(RF)に柔軟に搭載されたサブフレーム(100)を備える。サブフレーム上に、例えばアライメントセンサ(AS)のような測定デバイスが搭載されている。サブフレームの軟性マウント(101)は、例えば100から200Hzの範囲内であるカットオフ周波数の低域フィルタとして作用することによって、例えば音響ノイズのような高周波外乱からアライメントセンサを隔離する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基準フレームと、 前記基準フレームに対して移動可能であり、基板を保持するように構成された基板ステージと、 前記基準フレームに対して軟性マウントを介して結合されたサブフレームと、 基板の属性を検知するように構成された測定デバイスと、を備え、 前記測定デバイスは、前記サブフレーム上に搭載され、 前記軟性マウントは、前記測定デバイスの動作に対する前記基準フレームにおける振動の効果を軽減するように構成されている、 リソグラフィ装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  G03F9/00 H ,  G03F9/00 Z ,  H01L21/68 F

Fターム (53件)：

2H197AA09 ,  2H197AA12 ,  2H197BA11 ,  2H197CA03 ,  2H197CA06 ,  2H197CA10 ,  2H197CB01 ,  2H197CC02 ,  2H197CC03 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD43 ,  2H197DB16 ,  2H197DB17 ,  2H197DB34 ,  2H197DC05 ,  2H197EA01 ,  2H197EA04 ,  2H197EA05 ,  2H197GA01 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA09 ,  5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131BA37 ,  5F131CA02 ,  5F131CA18 ,  5F131CA32 ,  5F131CA69 ,  5F131DA09 ,  5F131EA02 ,  5F131EA06 ,  5F131EA16 ,  5F131EA19 ,  5F131EA22 ,  5F131EA27 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131EB31 ,  5F131FA17 ,  5F131KA16 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA63 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB38 ,  5F131KB53

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 計測方法、ステージ装置、及び露光装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2008062802   出願人：株式会社ニコン
• リソグラフィ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-047558   出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
• 可動物体の位置依存信号を測定するための測定システム、リソグラフィ装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-072789   出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.