ウェーハの表面性状を非接触検査するための方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田茂
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-528096
公開番号（公開出願番号）：特表2018-523838
出願日： 2016年08月25日
公開日（公表日）： 2018年08月23日
要約：

ワークピース(W)の表面性状を角度分解散乱光計測法を用いて非接触検査するための方法及び装置は、光センサ(10)を用いており、該光センサは光束を照射して計測光スポット(14)を形成する。その反射光の光強度をラインセンサ(16)により検出し、検出した光強度から光強度特性値(Ig)を算出する。この光強度特性値(Ig)が極大値を取る水平回転角度である初期水平回転角度(θ)を測定する。計測動作モードにおいて、この初期水平回転角度(θ)を考慮に入れて、表面特性値を算出する。この計測方法の顕著な特徴は、サブナノメートル領域にまで及ぶ極めて高い横方向及び縦方向の空間解像度を有すること、それに、計測速度が高速であることである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

例えばウェーハ(W)などの精密加工が施された円板形状のワークピース(W)の表面性状を角度分解散乱光計測法を用いて非接触検査するための方法において、光センサ(10)が所定の光強度分布を有する光束(24)を前記ワークピース(W)の検査対象表面へ照射して計測光スポット(14)を形成し、前記光束の反射光の光強度(Ii)を、複数個(i個)のフォトデテクタ(18)を備えたラインセンサ(16)により所定角度範囲(α)内において検出し、検出した光強度から少なくとも1つの光強度特性値(Ig)を算出し、前記ワークピース(W)を回転装置(40)に回転可能に支持してその回転角度(β)を測定し、前記光センサ(10)は位置決め装置(46)により、前記ワークピース(W)の前記検査対象表面に対して相対的に方向付けされて該光センサ(20)の計測軸(20)が前記検査対象表面に対して垂直とされ、前記位置決め装置(46)は前記光センサ(10)を、前記ワークピース(W)の前記検査対象表面に対して相対的に径方向(r)に移動可能に、且つ、該光センサ(10)の前記計測軸(20)を中心として任意の回転角度(θ)で回転可能に支持しており、セットアップ動作モードにおいて、所定計測位置において前記光センサ(10)を該光センサの前記計測軸(20)を中心として回転させて、前記光強度特性値(Ig)が極大値を取る回転角度である初期回転角度(θ)により表される初期回転角度位置を測定し、計測動作モードにおいて、制御装置(50)が、前記初期回転角度(θ)を考慮に入れて、前記フォトデテクタ(18)で検出された光強度値(Ii)から表面性状を表す少なくとも1つの特性値(Aq; Aq*; M)を算出する、ことを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G01N 21/47 , G01B 11/30 , G01N 21/17 , G01N 21/956

FI (4件)：

G01N21/47 B , G01B11/30 102G , G01N21/17 A , G01N21/956 A

Fターム (48件)：

2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065AA54 , 2F065AA65 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065HH04 , 2F065HH18 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065MM04 , 2F065MM07 , 2F065MM08 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065QQ03 , 2F065QQ13 , 2F065QQ21 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065SS04 , 2G051AA51 , 2G051AB07 , 2G051BA10 , 2G051CA03 , 2G051CB05 , 2G051CC09 , 2G051DA08 , 2G051EA11 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059BB16 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059FF01 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059JJ11 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM09

引用特許：

出願人引用 (3件)

欠陥検査方法及び欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-156507 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
特開昭60-000310
特表昭62-502216

審査官引用 (2件)

欠陥検査方法及び欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-156507 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
特開昭60-000310

前のページに戻る