特許
J-GLOBAL ID：201803011773805749

露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-083348
公開番号（公開出願番号）：特開2018-151646
出願日： 2018年04月24日
公開日（公表日）： 2018年09月27日
要約：
【課題】ウエハの高精度な露光を行う。【解決手段】露光装置は、ウエハの露光動作において、Y軸方向を走査方向として照明光に対してマスクとウエハをそれぞれ相対移動する走査露光が行われるとともに、XY平面と直交するZ軸方向に関する、ウエハステージWSTの位置制御又は位置合わせのための基準面あるいは露光動作においてウエハが一致する基準面の位置と、エンコーダシステムのグレーティング(39Y1、39Y2、39X1、39X2)の格子面の位置との差に起因して生じるエンコーダシステムの計測誤差が補償されるように、計測誤差を補償するための補正情報と、第1計測装置によって計測されるマスクステージの位置情報及びエンコーダシステムを有する第2計測装置によって計測されるウエハステージの位置情報と、に基づいてマスクステージの駆動系及びウエハステージの駆動系を制御するコントローラを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、 前記投影光学系を支持するフレーム部材と、 前記投影光学系の上方に配置され、前記照明光で照明されるマスクを保持する第1ステージと、前記第1ステージを駆動する第1モータを含む第1駆動系と、を有し、少なくとも前記投影光学系の光軸と直交する所定面内の第1方向に関して前記第1ステージを移動するマスクステージシステムと、 前記投影光学系の下方に配置され、前記基板を保持する第2ステージと、前記第2ステージを駆動する第2モータを含む第2駆動系と、を有し、少なくとも前記所定面内で互いに直交する前記第1方向および第2方向に関して前記第2ステージを移動する基板ステージシステムと、 前記第1、第2ステージの位置情報をそれぞれ計測する第1、第2計測装置と、前記第2計測装置は、前記第2ステージに格子部とヘッドとの一方が設けられ、前記格子部と前記ヘッドとの他方が前記第2ステージと対向するように前記フレーム部材に設けられ、前記格子部と対向する複数の前記ヘッドによって、前記第2ステージの位置情報を計測するエンコーダシステムを有し、 前記第1、第2駆動系および前記第1、第2計測装置と接続され、前記基板の露光動作において、前記第1方向を走査方向として前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動する走査露光が行われるとともに、前記所定面と直交する第3方向に関する、前記第2ステージの位置制御又は位置合わせのための基準面あるいは前記露光動作において前記基板が一致する基準面の位置と、前記格子部の格子面の位置との差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差が補償されるように、前記計測誤差を補償するための補正情報と、前記第1、第2計測装置の計測情報と、に基づいて前記第1、第2駆動系を制御するコントローラと、を備える露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/68 ,  G01B 11/00
FI (3件)：
G03F7/20 521 ,  H01L21/68 F ,  G01B11/00 G
Fターム (106件)：
2F065AA03 ,  2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065AA37 ,  2F065BB15 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065DD19 ,  2F065EE11 ,  2F065FF16 ,  2F065FF48 ,  2F065FF52 ,  2F065FF55 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2H197AA06 ,  2H197AA09 ,  2H197AA10 ,  2H197AA12 ,  2H197CA05 ,  2H197CA07 ,  2H197CA08 ,  2H197CA10 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD18 ,  2H197CD35 ,  2H197CD41 ,  2H197CD43 ,  2H197DC02 ,  2H197DC06 ,  2H197DC14 ,  2H197EA01 ,  2H197EA04 ,  2H197EA11 ,  2H197EA15 ,  2H197EA19 ,  2H197EA26 ,  2H197EB22 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA26 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA10 ,  5F131AA13 ,  5F131AA21 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131AA40 ,  5F131BA13 ,  5F131BA14 ,  5F131BA39 ,  5F131BA54 ,  5F131BA60 ,  5F131CA18 ,  5F131CA69 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA02 ,  5F131EA06 ,  5F131EA12 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA16 ,  5F131EA17 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB01 ,  5F131EB75 ,  5F131EB78 ,  5F131EB89 ,  5F131FA10 ,  5F131FA17 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131FA37 ,  5F131FA39 ,  5F131GA05 ,  5F131GA26 ,  5F131GA68 ,  5F131KA16 ,  5F131KA47 ,  5F131KA63 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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