特許

J-GLOBAL ID：201803011820492738

試料トランスファ装置

発明者： レアンダー ゲヒター ,  ギュンター ボック ,  トーマス プファイファー
出願人/特許権者： ライカ ミクロジュステーメ ゲーエムベーハー
代理人 (5件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  森田 拓 ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-538436
公開番号（公開出願番号）：特表2018-504752
出願日： 2016年01月14日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
要約：

本発明は、試料を収容する試料トランスファ装置(10)であって、トランスファロッド(4)を備え、トランスファロッド(4)は、試料ホルダを収容するように構成されており、試料ホルダは、試料を加工ユニットまたは分析ユニット(200)に移送する目的で、試料トランスファ装置(10)のチャンバ(1)内に配置可能であり、物理量を測定する少なくとも1つの測定装置(3,8)が、試料トランスファ装置(10)内に配置されている、試料トランスファ装置(10)に関する。

請求項（抜粋）：

試料を収容する試料トランスファ装置(10)であって、 トランスファロッド(4)を備え、 前記トランスファロッド(4)は、試料ホルダを収容するように構成されており、前記試料ホルダは、前記試料を加工ユニットまたは分析ユニット(200)に移送する目的で、前記試料トランスファ装置(10)のチャンバ(1)内に配置可能である、 試料トランスファ装置(10)において、 物理量を測定する少なくとも1つの測定装置(3,8)が、前記試料トランスファ装置(10)内に配置されている、 ことを特徴とする、試料トランスファ装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G02B 21/28 ,  G02B 21/00

FI (4件)：

H01J37/20 C ,  H01J37/20 A ,  G02B21/28 ,  G02B21/00

Fターム (13件)：

2H052AD18 ,  2H052AD23 ,  2H052AD25 ,  2H052AD37 ,  2H052AE10 ,  2H052AE13 ,  2H052AF02 ,  2H052AF10 ,  2H052AF21 ,  5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001BB02 ,  5C001BB07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• コーティング装置、及びコーティング装置の前処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-131493   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ