特許
J-GLOBAL ID：201803012120966140
画像測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大槻 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-132920
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004497
出願日： 2016年07月04日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】 モデル画像上で測定要素を指定することにより、複数の接触目標位置を自動的に特定してプローブによるスキャン動作を決定することができる画像測定装置を提供する。【解決手段】 測定設定時に、設定用のモデル画像を表示する表示部と、モデル画像上で、プローブによる測定を行う測定要素の指定を受け付ける入力受付部と、測定要素の形状種別又は大きさと、プローブの接触目標位置の配置位置との関係を規定した配置ルールを予め記憶した記憶部と、測定実行時に、入力受付部により指定された測定要素の位置と、測定要素の形状種別又は大きさと、記憶部に記憶された配置ルールとに従って、プローブの接触目標位置を特定し、特定された複数の接触目標位置にプローブが順次に移動するように水平駆動部を制御する測定制御部により構成される。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
ワークを載置するためのステージと、
上記ステージ上の上記ワークに検出光を照射する投光部と、
上記ワークからの上記検出光を受光し、ワーク画像を生成する撮像部と、
上記撮像部の撮像視野内に配置可能に設けられたプローブと、
上記ステージ及び上記プローブを上記ステージの上面と平行な方向に相対的に移動させることにより、上記ステージ上に載置されたワークの側面に上記プローブを接触させる水平駆動部と、
測定設定時に、上記ワークの設計データ又は上記撮像部により上記ワークを撮像して得られた画像データに基づいて生成された設定用のモデル画像を表示する表示部と、
上記表示部に表示された上記モデル画像上で、上記プローブによる測定を行う測定要素の指定を受け付ける入力受付部と、
上記入力受付部により指定可能な測定要素の形状種別又は大きさと、上記プローブの接触目標位置の配置位置との関係を規定した配置ルールを予め記憶した記憶部と、
測定実行時に、上記入力受付部により指定された測定要素の位置と、測定要素の形状種別又は大きさと、上記記憶部に記憶された配置ルールとに従って、上記プローブの接触目標位置を特定し、特定された上記複数の接触目標位置に上記プローブが順次に移動するように上記水平駆動部を制御する測定制御部とを備えることを特徴とする画像測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (36件)：
2F062AA04
, 2F062AA07
, 2F062AA21
, 2F062AA51
, 2F062CC22
, 2F062CC27
, 2F062EE01
, 2F062EE09
, 2F062FF05
, 2F062FG07
, 2F062GG17
, 2F062HH01
, 2F062LL11
, 2F065AA04
, 2F065AA21
, 2F065AA37
, 2F065AA53
, 2F065AA69
, 2F065BB05
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF68
, 2F065GG17
, 2F065HH15
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065MM13
, 2F065MM23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065RR08
, 2F065SS02
, 2F065SS13
