粒子分光計のための分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：村山靖彦 , 実広信哉 , 阿部達彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-034717
公開番号（公開出願番号）：特開2018-119974
出願日： 2018年02月28日
公開日（公表日）： 2018年08月02日
要約：

【課題】粒子分光測定、例えば光電子分光測定等におけるエネルギー分解能を向上させることが可能な分析方法を提供する。【解決手段】粒子放出試料11から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター、例えば粒子のエネルギー、開始方向、開始位置、又はスピンに関するパラメーターを決定するための方法に関し、荷電粒子のビームをレンズシステム13によって測定領域3の入口8へ導くステップと、測定領域内で上記パラメーターの指標となる粒子の位置を検出するステップと、を備える。さらに、粒子ビームが測定領域に入射する前に、同じ座標方向に少なくとも二回粒子ビームを偏向させるステップを備えることにより、測定領域の入口における粒子ビームの位置及び方向の両方は、試料の物理的な操作の必要性をある程度除くように制御されることが可能である。また、エネルギー分解能を改善できるように、試料が効率的に冷却されることが可能になる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

粒子放出試料(11)から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸(15)を有するレンズシステム(13)によって前記粒子放出試料(11)と測定領域(3)の入口(8)との間で粒子を輸送するステップと、前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第1座標方向(x、y)において前記粒子ビームを偏向させるステップと、前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第1座標方向(x、y)において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップをさらに備えることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N 23/227 , H01J 49/44

FI (2件)：

G01N23/2273 , H01J49/44

Fターム (10件)：

2G001AA01 , 2G001BA08 , 2G001CA03 , 2G001DA09 , 2G001EA04 , 2G001GA01 , 2G001JA05 , 5C038KK07 , 5C038KK10 , 5C038KK20

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭56-107463
X線光電子分光イメージング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-161575 出願人：日本電子株式会社
電子分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-074739 出願人：日本電子株式会社

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