特許

J-GLOBAL ID：201803012243112200

チャンバーアレイの製造方法

発明者： 古寺 哲幸 ,  豐田 貴大 ,  内橋 貴之
出願人/特許権者： 国立大学法人金沢大学
代理人 (1件)： 新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-232100
公開番号（公開出願番号）：特開2018-085975
出願日： 2016年11月30日
公開日（公表日）： 2018年06月07日
要約：

【課題】大面積で高密度のチャンバーアレイを簡便に製造することができるチャンバーアレイの製造方法を提供する。【解決手段】樹脂10に複数のチャンバー12が形成されたチャンバーアレイ1の製造方法であって、基板20上に複数のビーズ22を配置するビーズ配置工程と、基板20および複数のビーズ22上に液状の樹脂10aを配置し、硬化させるコンタクトインプリンティング工程と、硬化後の樹脂10を基板20から剥離する剥離工程と、基板20から剥離した樹脂10から複数のビーズ22を除去する除去工程とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

樹脂に複数のチャンバーが形成されたチャンバーアレイの製造方法であって、 基板上に複数のビーズを配置するビーズ配置工程と、 前記基板および前記複数のビーズ上に液状の前記樹脂を配置し、硬化させるコンタクトインプリンティング工程と、 硬化後の前記樹脂を前記基板から剥離する剥離工程と、 前記基板から剥離した前記樹脂から前記複数のビーズを除去する除去工程とを含む チャンバーアレイの製造方法。

IPC (1件)：

C12M 1/00

FI (1件)：

C12M1/00 A

Fターム (4件)：

4B029AA08 ,  4B029BB01 ,  4B029CC02 ,  4B029GA03